[实用新型]一种光刻机用上版夹具

权利要求书

1.一种光刻机用上版夹具，包括定位器(2)和控制系统(23)，其特征在于：所述定位器(2)一侧与曝光平台(6)间隙配合，所述定位器(2)内表面与铬版(5)间隙配合，所述铬版(5)一侧与曝光平台(6)间隙配合，所述曝光平台(6)一侧通过螺钉与不锈钢支架(12)固定连接，所述不锈钢支架(12)内表面通过螺钉与抽气装置(16)固定连接，所述不锈钢支架(12)一侧通过螺钉与处理器(24)固定连接，所述处理器(24)一端通过螺钉与信号发射器(25)固定连接，所述处理器(24)另一端通过螺钉与信号接收器(26)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机用上版夹具，其特征在于，所述定位器(2)还包括定位钉(1)、定位孔A(3)和抵顶块(4)，所述定位器(2)一侧设置有定位孔A(3)，所述定位器(2)内表面与抵顶块(4)焊接，所述定位孔A(3)内表面与定位钉(1)间隙配合。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机用上版夹具，其特征在于，所述曝光平台(6)还包括凹槽(7)、固定板(8)、真空吸气槽(9)和抽气孔(10)，所述固定板(8)一侧设置有凹槽(7)，所述凹槽(7)内表面与真空吸气槽(9)间隙配合，所述真空吸气槽(9)内表面设置有抽气孔(10)。

4.根据权利要求3所述的一种光刻机用上版夹具，其特征在于，所述固定板(8)还包括定位钉(1)、抽气孔(10)、定位孔B(11)和管道A(13)，所述固定板(8)一侧设置有定位孔B(11)，所述定位钉(1)一端与定位孔B(11)间隙配合，所述抽气孔(10)内表面与管道A(13)法兰连接。

5.根据权利要求1所述的一种光刻机用上版夹具，其特征在于，所述不锈钢支架(12)还包括管道A(13)、空腔(14)、光电传感器(15)和抽气装置(16)，所述不锈钢支架(12)内表面设置有空腔(14)，所述空腔(14)内表面通过螺钉与光电传感器(15)固定连接，所述管道A(13)另一端与空腔(14)法兰连接，所述抽气装置(16)一端与空腔(14)法兰连接。

6.根据权利要求1所述的一种光刻机用上版夹具，其特征在于，所述抽气装置(16)还包括微型真空泵(17)、真空泵开关A(18)、管道B(19)、管道C(20)、电磁阀门(21)和阀门开关B(22)，所述管道B(19)一端与微型真空泵(17)法兰连接，所述微型真空泵(17)一端与管道C(20)法兰连接，所述管道C(20)一端与电磁阀门(21)法兰连接，所述电磁阀门(21)一端通过电线与阀门开关B(22)电性连接，所述微型真空泵(17)一侧通过电线与真空泵开关A(18)电性连接。

7.根据权利要求1所述的一种光刻机用上版夹具，其特征在于，所述控制系统(23)还包括光电传感器(15)、真空泵开关A(18)、阀门开关B(22)、处理器(24)、信号发射器(25)和信号接收器(26)，所述光电传感器(15)一端通过电线与处理器(24)固定连接，所述真空泵开关A(18)一端通过电线与处理器(24)固定连接，所述阀门开关B(22)一端通过电线与处理器(24)固定连接，所述信号发射器(25)一端通过电线与处理器(24)固定连接，所述信号接收器(26)一端通过电线与处理器(24)固定连接。