[实用新型]一种蚀刻设备有效
| 申请号： | 201921311536.X | 申请日： | 2019-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN210711751U | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 刘永;谢南海 | 申请（专利权）人： | 广东达源设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;B01D46/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王雨 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市东莞松*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种蚀刻设备，所述蚀刻设备包括空压机、储气罐、过滤器、喷淋器及输送带；所述喷淋器包括液体分流盘、气体分流盘及空气雾化喷嘴，且所述液体分流盘及所述气体分流盘固定于所述喷淋器的壳体中；所述空气雾化喷嘴设置在所述喷淋器的下表面；所述喷淋器设置于所述输送带上方；所述过滤器用于过滤通过所述储气罐向所述空气雾化喷嘴输送的气体中的油。本申请中通过使用空气雾化喷嘴对所述线路板充分蚀刻，使蚀刻后得到的线路深浅一致，侧壁平整，此外，本申请还在现有的蚀刻设备的基础上，增设了所述过滤器，滤除空气在空压机内被压缩的过程中混入的油污杂质，所述油污杂质会污染蚀刻液，阻碍所述蚀刻液与基板的接触，导致蚀刻不均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 设备 | ||
【主权项】：
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