[实用新型]一种蚀刻设备

权利要求书

1.一种蚀刻设备，其特征在于，所述蚀刻设备包括空压机、储气罐、过滤器、喷淋器及输送带；

所述喷淋器包括液体分流盘、气体分流盘及空气雾化喷嘴，且所述液体分流盘及所述气体分流盘固定于所述喷淋器的壳体中；

所述空气雾化喷嘴设置在所述喷淋器的下表面；

所述喷淋器设置于所述输送带上方；

所述过滤器用于过滤通过所述储气罐向所述空气雾化喷嘴输送的气体中的油。

2.如权利要求1所述的蚀刻设备，其特征在于，所述蚀刻设备还包括干燥器，所述干燥器用于吸收所述过滤器向所述空气雾化喷嘴输送的气体中的水汽。

3.如权利要求1所述的蚀刻设备，其特征在于，所述蚀刻设备还包括摇摆器，所述摇摆器使所述喷淋器在水平面内垂直于所述输送带的输送方向摇摆。

4.如权利要求3所述的蚀刻设备，其特征在于，所述摇摆器为通过凸轮驱动的摇摆器。

5.如权利要求1所述的蚀刻设备，其特征在于，所述液体分流盘与所述喷淋器的壳体之间、所述气体分流盘与所述喷淋器的壳体之间通过导轨连接；

所述壳体的侧壁设置有开关门，所述液体分流盘及所述气体分流盘能通过所述开关门抽出所述壳体或推入所述壳体。

6.如权利要求5所述的蚀刻设备，其特征在于，所述液体分流盘及所述气体分流盘的边缘设置有滑轮；述液体分流盘及所述气体分流盘通过所述滑轮设置于所述导轨上。

7.如权利要求1所述的蚀刻设备，其特征在于，所述蚀刻设备还包括气体加热器，所述气体加热器用于对输送向所述气体分流盘的气体进行加热。

8.如权利要求1所述的蚀刻设备，其特征在于，所述空气雾化喷嘴的喷射方向垂直于所述输送带所在的平面。

9.如权利要求1至8任一项所述的蚀刻设备，其特征在于，所述气体分流盘与所述空气雾化喷嘴之间、所述液体分流盘与所述空气雾化喷嘴之间通过塑料软管连接。