[实用新型]一种全自动硅片超声波清洗机有效
申请号: | 201921282068.8 | 申请日: | 2019-08-08 |
公开(公告)号: | CN210546733U | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
发明(设计)人: | 孙景平 | 申请(专利权)人: | 张家港市保德兴超声设备有限公司 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12;B08B3/08;B08B3/10;B08B3/14;B08B13/00 |
代理公司: | 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 11531 | 代理人: | 李宏伟 |
地址: | 215600 江苏省苏州市张家港*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种全自动硅片超声波清洗机,包括上料人员,所述上料人员的右侧放置有机体,且机体的内部左侧固定有上料传送,并且上料传送的后侧固定有整机电控柜,所述上料传送的右侧安装有超声波振板,且超声波振板的下端前侧开设有法兰掏渣孔,并且超声波振板的两侧均固定有电加热管,所述超声波振板的上端左侧固定有进水管路,所述机体的内部前下端固定有摆动主动轴,且机体的下端表面安装有可调节地脚,所述超声波振板的右侧上端设置有慢拉提升机。该全自动硅片超声波清洗机,设置的多工位连续清洗线,清洗部分传动形式采用多臂机械手送料吊篮式清洗,进出料采用塑料链条自动传送定位,运行安全可靠,使用寿命长。 | ||
搜索关键词: | 一种 全自动 硅片 超声波 清洗 | ||
【主权项】:
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