[实用新型]一种全自动硅片超声波清洗机

权利要求书

1.一种全自动硅片超声波清洗机，包括上料人员，其特征在于：所述上料人员的右侧放置有机体，且机体的内部左侧固定有上料传送，并且上料传送的后侧固定有整机电控柜，所述上料传送的右侧安装有超声波振板，且超声波振板的下端前侧开设有法兰掏渣孔，并且超声波振板的两侧均固定有电加热管，所述超声波振板的上端左侧固定有进水管路，所述机体的内部前下端固定有摆动主动轴，且机体的下端表面安装有可调节地脚，所述超声波振板的右侧上端设置有慢拉提升机，且慢拉提升机与机体内部相互固定，并且慢拉提升机的侧边设置有慢拉平移小车，所述机体的内部右侧后端固定有吹风风机，且机体的内部右侧前端安装有下料传动，所述下料传动的上端固定有石英加热管，所述机体的右侧安排有下料人员，所述慢拉平移小车的上端固定有平移导轨，且平移导轨的前侧下端安装有抛动驱动电机，并且抛动驱动电机的上端安装有抛动导轨，所述抛动驱动电机的前端固定有偏心轮，所述平移导轨的上端安装有平移支架，且平移支架与机体的内部上端相互连接，并且机体的上端表面安装有吸雾风机，所述平移支架的前侧设置有提升传动轴，且提升传动轴与机体相互固定，并且提升传动轴的前端安装有纵向提升架，所述机体的前端壁面嵌接安装有可视观察窗。

2.如权利要求1所述的一种全自动硅片超声波清洗机，其特征在于：所述机体内部个超声波振板的超声波总功率为14.4KW，同时超声波振板的超声波频率为40KHZ。

3.如权利要求1所述的一种全自动硅片超声波清洗机，其特征在于：所述超声波振板关于机体的内部等间距设置有六个，且超声波振板为SUS316L 2.0mm不锈钢板材质，并且超声波振板工作表面电镀硬铬处理。

4.如权利要求1所述的一种全自动硅片超声波清洗机，其特征在于：所述进水管路的安装位置与超声波振板的安装位置相互对应，且进水管路的安装个数与超声波振板的安装个数相同，并且超声波振板等间距固定在机体的内部前端左侧。

5.如权利要求1所述的一种全自动硅片超声波清洗机，其特征在于：所述慢拉平移小车通过上端的平移导轨和平移支架与机体组成活动结构。

6.如权利要求1所述的一种全自动硅片超声波清洗机，其特征在于：所述石英加热管等间距固定在机体的内部右侧，且石英加热管的空气加热功率为15KW。