[实用新型]一种全自动硅片超声波清洗机

说明书

本实用新型涉及一种全自动硅片超声波清洗机，包括上料人员，所述上料人员的右侧放置有机体，且机体的内部左侧固定有上料传送，并且上料传送的后侧固定有整机电控柜，所述上料传送的右侧安装有超声波振板，且超声波振板的下端前侧开设有法兰掏渣孔，并且超声波振板的两侧均固定有电加热管，所述超声波振板的上端左侧固定有进水管路，所述机体的内部前下端固定有摆动主动轴，且机体的下端表面安装有可调节地脚，所述超声波振板的右侧上端设置有慢拉提升机。该全自动硅片超声波清洗机，设置的多工位连续清洗线，清洗部分传动形式采用多臂机械手送料吊篮式清洗，进出料采用塑料链条自动传送定位，运行安全可靠，使用寿命长。

【技术领域】

本实用新型涉及超声波清洗机领域，具体涉及一种全自动硅片超声波清洗机。

【背景技术】

超声波在液体中传播，使液体与清洗槽在超声波频率下一起振动，液体与清洗槽振动时有自己固有频率，这种振动频率是声波频率，所以人们就听到嗡嗡声，随着清洗行业的不断发展，越来越多的行业和企业运用到了超声波清洗机。

现有的大部分超声波清洗机在工作过程中大多为半开放式结构，且未设置抽风吸雾装置，容易造成工作环境的污染的问题。针对上述提出的问题，在原有的超声波清洗机基础上进行创新设计。

【实用新型内容】

为解决上述问题，本实用新型的目的在于提供一种全自动硅片超声波清洗机，解决了现有的大部分超声波清洗机在工作过程中大多为半开放式结构，且未设置抽风吸雾装置，容易造成工作环境的污染的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种全自动硅片超声波清洗机，包括上料人员，所述上料人员的右侧放置有机体，且机体的内部左侧固定有上料传送，并且上料传送的后侧固定有整机电控柜，所述上料传送的右侧安装有超声波振板，且超声波振板的下端前侧开设有法兰掏渣孔，并且超声波振板的两侧均固定有电加热管，所述超声波振板的上端左侧固定有进水管路，所述机体的内部前下端固定有摆动主动轴，且机体的下端表面安装有可调节地脚，所述超声波振板的右侧上端设置有慢拉提升机，且慢拉提升机与机体内部相互固定，并且慢拉提升机的侧边设置有慢拉平移小车，所述机体的内部右侧后端固定有吹风风机，且机体的内部右侧前端安装有下料传动，所述下料传动的上端固定有石英加热管，所述机体的右侧安排有下料人员，所述慢拉平移小车的上端固定有平移导轨，且平移导轨的前侧下端安装有抛动驱动电机，并且抛动驱动电机的上端安装有抛动导轨，所述抛动驱动电机的前端固定有偏心轮，所述平移导轨的上端安装有平移支架，且平移支架与机体的内部上端相互连接，并且机体的上端表面安装有吸雾风机，所述平移支架的前侧设置有提升传动轴，且提升传动轴与机体相互固定，并且提升传动轴的前端安装有纵向提升架，所述机体的前端壁面嵌接安装有可视观察窗。

本实用新型中的一种全自动硅片超声波清洗机进一步设置为：所述机体内部个超声波振板的超声波总功率为14.4KW，同时超声波振板的超声波频率为40KHZ。

本实用新型中的一种全自动硅片超声波清洗机进一步设置为：所述超声波振板关于机体的内部等间距设置有六个，且超声波振板为SUS316L 2.0mm不锈钢板材质，并且超声波振板工作表面电镀硬铬处理。

本实用新型中的一种全自动硅片超声波清洗机进一步设置为：所述进水管路的安装位置与超声波振板的安装位置相互对应，且进水管路的安装个数与超声波振板的安装个数相同，并且超声波振板等间距固定在机体的内部前端左侧。

本实用新型中的一种全自动硅片超声波清洗机进一步设置为：所述慢拉平移小车通过上端的平移导轨和平移支架与机体组成活动结构。

本实用新型中的一种全自动硅片超声波清洗机进一步设置为：所述石英加热管等间距固定在机体的内部右侧，且石英加热管的空气加热功率为15KW。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：