[实用新型]一种新型的单晶硅片承载器

摘要

本实用新型公开了一种新型的单晶硅片承载器，所述承载器本体对称设置两组以上的插片槽，用于承载硅片，插片槽在上下方向上为分体结构，每组插片槽外壁都水平设置有两条加强筋；所述加强筋的两端分别连接在承载器本体竖向的挡板上，挡板上设于1个以上的定位销；所述承载器本体设有顶部，顶部用于硅片的放入和取出；所述承载器本体底部设有与加强筋方向一致的支撑杆，支撑杆表面设有缓冲胶条。插片槽采用分体式结构，同时使用加强筋，预防变形稳定性更好，使硅片承载器使用时间由3‑6个月提高到1年半以上，使用时间更长。