[实用新型]一种安全性高的退火炉有效
申请号: | 201921255697.1 | 申请日: | 2019-08-05 |
公开(公告)号: | CN210167339U | 公开(公告)日: | 2020-03-20 |
发明(设计)人: | 施兴建 | 申请(专利权)人: | 绍兴兴科元管业有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67;H01L21/324 |
代理公司: | 成都明涛智创专利代理有限公司 51289 | 代理人: | 王巍敏 |
地址: | 312000 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及退火设备技术领域,且公开了一种安全性高的退火炉,包括退火炉本体。该安全性高的退火炉,通过转动螺纹盖使得螺纹盖与螺纹套筒分离,螺纹盖与螺纹套筒分离后向外拉动连接竖杆,将连接竖杆拉动至螺纹套筒的外部时转动连接竖杆使得连接竖杆在压力弹簧的作用下与螺纹套筒紧密贴合,且固定杆在连接竖杆、连接杆和挡块的作用下移动至固定槽的外部,此时就可以将移动块和竖板从传送平台的表面拆卸下来进行更换,该装置相对于传统一成不变的传送平台而言变更为可以根据现场具体情况进行更换,使得传送平台的安全性更高,且在退火炉为进行工作时将移动块和竖板拆卸后更方便对传送平台进行维护。 | ||
搜索关键词: | 一种 安全性 退火炉 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于绍兴兴科元管业有限公司,未经绍兴兴科元管业有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201921255697.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种防爆电缆终端接头
- 下一篇:一种整玻片多光路高通量病理切片扫描仪
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造