[实用新型]一种安全性高的退火炉有效
| 申请号： | 201921255697.1 | 申请日： | 2019-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN210167339U | 公开（公告）日： | 2020-03-20 |
| 发明（设计）人： | 施兴建 | 申请（专利权）人： | 绍兴兴科元管业有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67;H01L21/324 |
| 代理公司： | 成都明涛智创专利代理有限公司 51289 | 代理人： | 王巍敏 |
| 地址： | 312000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 安全性 退火炉 | ||
1.一种安全性高的退火炉，包括退火炉本体(1)，其特征在于：所述退火炉本体(1)的前侧固定连接有底座(2)，底座(2)的顶部固定连接有传送平台(3)，传送平台(3)的顶部和底部均开设有数量为两个的移动槽(4)，移动槽(4)的内部活动连接有移动块(5)，左右两侧所述移动块(5)相背一侧均与竖板(6)固定连接，上下两侧所述移动块(5)相对一侧均开设有转动槽(7)，转动槽(7)的内部活动连接有与移动槽(4)槽内侧壁相接触的转动块(8)，所述传送平台(3)的左右两侧均开设有固定槽(10)，左右两侧所述竖板(6)相背一侧均固定连接有安装块(9)，安装块(9)的内壁开设有中空腔(11)，左右两侧所述安装块(9)相背一侧均插接有延伸至中空腔(11)内部的连接杆(12)，连接杆(12)的外部套接有位于中空腔(11)内部的挡块(14)，连接杆(12)的外部套接有与挡块(14)和中空腔(11)腔内侧壁相连接的压力弹簧(15)，左右两侧所述挡块(14)相对一侧均固定连接有延伸至固定槽(10)内部的固定杆(16)，左右两侧所述安装块(9)相背一侧均固定连接有螺纹套筒(17)，螺纹套筒(17)的上下两侧均开设有连接凹槽(18)，左右两侧所述连接杆(12)相背一侧均固定连接有贯穿连接凹槽(18)且延伸至螺纹套筒(17)外部的连接竖杆(19)，螺纹套筒(17)的外部套接有与连接竖杆(19)相接触且与螺纹套筒(17)相匹配的螺纹盖(20)，上方所述移动块(5)的顶部固定连接有防护板(13)。
2.根据权利要求1所述的一种安全性高的退火炉，其特征在于：所述移动块(5)共有八个，八个所述移动块(5)分为上下两组，一组四个所述移动块(5)分为左右两行，一行两个所述移动块(5)呈对称分布。
3.根据权利要求1或2所述的一种安全性高的退火炉，其特征在于：所述防护板(13)共有两个，两个所述防护板(13)分别与上方两行所述移动块(5)为一一对应的关系。
4.根据权利要求1或2所述的一种安全性高的退火炉，其特征在于：所述转动槽(7)共由十六个，十六个所述转动槽(7)分为八组，八组所述转动槽(7)与八个所述移动块(5)呈一一对应的关系，且转动槽(7)为球形槽。
5.根据权利要求1所述的一种安全性高的退火炉，其特征在于：所述转动块(8)为球形块，转动块(8)的直径小于转动槽(7)的直径。
6.根据权利要求1所述的一种安全性高的退火炉，其特征在于：所述固定槽(10)共有二十个，二十个所述固定槽(10)分为左右两组，一组十个所述固定槽(10)呈等距分布。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
