[实用新型]一种理疗仪生产用晶圆清理装置有效
| 申请号： | 201921228218.7 | 申请日： | 2019-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN210497457U | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 宋吉宝;陈标;王峰;石磊 | 申请（专利权）人： | 青岛和祥电器有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/04;B07B1/36;B07B1/42;B07B1/46;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市黄岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种理疗仪生产用晶圆清理装置，涉及晶圆清洗技术领域，包括传动箱和花篮，所述传动箱位于花篮上方，所述传动箱内部通过电机、减速器、凸轮机构和曲柄滑块机构，使花篮实现上下、左右的往复运动，花篮两相对侧壁开设对应的插槽，所述插槽上设置由上到下设第一滤板、第二滤板和第三滤板，所述滤板孔径依次减小，所述花篮底面、背面和正面为滤网且孔径最小，所述花篮悬挂在清洗腔内部，所述清洗腔内设超声波发生装置。本实用新型适合增强了清洗液与晶圆的作用效果，在超声波的作用下，清洗速度快，清洗效率高，可小批量清洗尺寸相同或不同的晶圆，节约清洗时间，初步将晶圆按不同尺寸进行分类，方便后续加工，提高了实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 理疗仪 生产 用晶圆 清理 装置 | ||
【主权项】：
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