[实用新型]一种理疗仪生产用晶圆清理装置有效
申请号: | 201921228218.7 | 申请日: | 2019-07-31 |
公开(公告)号: | CN210497457U | 公开(公告)日: | 2020-05-12 |
发明(设计)人: | 宋吉宝;陈标;王峰;石磊 | 申请(专利权)人: | 青岛和祥电器有限公司 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12;B08B3/04;B07B1/36;B07B1/42;B07B1/46;H01L21/67 |
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地址: | 266000 山东省青岛市黄岛*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 理疗仪 生产 用晶圆 清理 装置 | ||
1.一种理疗仪生产用晶圆清理装置,包括传动箱(1)和花篮(2),其特征在于:所述传动箱(1)位于花篮(2)上方,所述传动箱(1)内部顶部设置第一电机(3),所述第一电机(3)输出端与第一减速箱(4)固定连接,所述第一减速箱(4)连接凸轮(5),所述凸轮(5)通过转轴与传动箱(1)转动连接,所述凸轮(5)转轴下方设滑轮(6),所述滑轮(6)与凸轮(5)抵触,所述滑轮(6)与竖直设置的推杆(7)转动连接,所述推杆(7)穿过水平固定杆(8),所述推杆(7)侧壁上设圆周凸起(9),所述圆周凸起(9)与水平固定杆(8)之间的推杆(7)上套设弹簧(10),所述弹簧(10)底端与水平固定杆(8)上表面固定连接,所述弹簧(10)顶端与圆周凸起(9)底面固定连接,所述推杆(7)穿过水平固定杆(8)的末端连接一段水平的滑槽(11),所述滑槽(11)内设圆形的滑块(12),所述滑块(12)与连杆(13)右端转动连接,所述连杆(13)左端与曲柄(14)末端转动连接,所述曲柄(14)输入端连接第二减速箱(15),所述第二减速箱(15)与第二电机(16)输出端连接,所述滑块(12)下方连接花篮(2),所述花篮(2)两相对侧壁开设对应的插槽(17),所述插槽(17)上设置由上到下设第一滤板(18)、第二滤板(19)和第三滤板(20),所述滤板孔径依次减小,所述花篮(2)底面、背面和正面为滤网且孔径最小,所述花篮(2)悬挂在清洗腔(21)内部,所述清洗腔(21)内设超声波发生装置(22)。
2.根据权利要求1所述的一种理疗仪生产用晶圆清理装置,其特征在于,所述插槽(17)设置3~5对。
3.根据权利要求1所述的一种理疗仪生产用晶圆清理装置,其特征在于,所述清洗腔(21)底部设进水口(23)和出水口(24)。
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