[实用新型]一种理疗仪生产用晶圆清理装置

说明书

本实用新型公开了一种理疗仪生产用晶圆清理装置，涉及晶圆清洗技术领域，包括传动箱和花篮，所述传动箱位于花篮上方，所述传动箱内部通过电机、减速器、凸轮机构和曲柄滑块机构，使花篮实现上下、左右的往复运动，花篮两相对侧壁开设对应的插槽，所述插槽上设置由上到下设第一滤板、第二滤板和第三滤板，所述滤板孔径依次减小，所述花篮底面、背面和正面为滤网且孔径最小，所述花篮悬挂在清洗腔内部，所述清洗腔内设超声波发生装置。本实用新型适合增强了清洗液与晶圆的作用效果，在超声波的作用下，清洗速度快，清洗效率高，可小批量清洗尺寸相同或不同的晶圆，节约清洗时间，初步将晶圆按不同尺寸进行分类，方便后续加工，提高了实用性。

技术领域

本实用新型涉及晶圆清洗技术领域，尤其是一种理疗仪生产用晶圆清理装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆生产加工需要使用到清洗装置，但现有的清洗装置清洗不干净，从而造成晶圆清洗效果差的现象，不方便使用者对晶圆的后续加工，降低了晶圆的实用性，在晶圆的加工过程中，通常需要对晶圆进行多次的清洗，且晶圆在清洗时的特点一般为少批量、多尺寸，而传统的清洗花篮多为单一尺寸，为了提高清洗效果需要重新制作不同尺寸的专用的清洗花篮，大大的增加了工装成本。

实用新型内容

为了克服现有技术中所存在的上述缺陷，本实用新型提供了一种理疗仪生产用晶圆清理装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种理疗仪生产用晶圆清理装置，包括传动箱和花篮，所述传动箱位于花篮上方，所述传动箱内部顶部设置第一电机，所述第一电机输出端与第一减速箱固定连接，所述第一减速箱连接凸轮，所述凸轮通过转轴与传动箱转动连接，所述凸轮转轴下方设滑轮，所述滑轮与凸轮抵触，所述滑轮与竖直设置的推杆转动连接，所述推杆穿过水平固定杆，所述推杆侧壁上设圆周凸起，所述圆周凸起与水平固定杆之间的推杆上套设弹簧，所述弹簧底端与水平固定杆上表面固定连接，所述弹簧顶端与圆周凸起底面固定连接，所述推杆穿过水平固定杆的末端连接一段水平的滑槽，所述滑槽内设圆形的滑块，所述滑块与连杆右端转动连接，所述连杆左端与曲柄末端转动连接，所述曲柄输入端连接第二减速箱，所述第二减速箱与第二电机输出端连接，所述滑块下方连接花篮，所述花篮两相对侧壁开设对应的插槽，所述插槽上设置由上到下设第一滤板、第二滤板和第三滤板，所述滤板孔径依次减小，所述花篮底面、背面和正面为滤网且孔径最小，所述花篮悬挂在清洗腔内部，所述清洗腔内设超声波发生装置。

上述的一种理疗仪生产用晶圆清理装置，所述插槽设置3～5对。

上述的一种理疗仪生产用晶圆清理装置，所述清洗仓底部设进水口和出水口。

本实用新型的有益效果是，本实用新型通过传动箱对花篮的上下左右的晃动作用，增强了清洗液与晶圆的作用效果，在超声波的作用下，达到了快速清洗的目的，提高了清洗的效率，解决了现有的清洗装置清洗不干净的、效果差的问题，通过花篮侧壁上凹槽插入滤板，可小批量清洗尺寸相同或不同的晶圆，节约清洗时间，可初步将晶圆按不同尺寸进行分类，方便使用者对晶圆的后续加工，提高了晶圆的实用性。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型传动箱的结构示意图；

图3为本实用新型花篮的结构示意图。

图中1.传动箱，2.花篮，3.第一电机，4.第一减速箱，5.凸轮，6.滑轮，7. 推杆，8.水平固定杆，9.圆周凸起，10.弹簧，11.滑槽，12.滑块，13.连杆，14. 曲柄，15.第二减速箱，16.第二电机，17.插槽，18.第一滤板，19.第二滤板， 20.第三滤板，21.清洗腔，22.超声波发生装置，23.进水口，24.出水口。