[实用新型]一种微型低功耗红外气体传感器有效
| 申请号： | 201921188190.9 | 申请日： | 2019-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN210665491U | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 古瑞琴;高胜国;田勇;赵云祥;连金锋;赵敬晓 | 申请（专利权）人： | 郑州炜盛电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/3504 | 分类号： | G01N21/3504;G01N21/01 |
| 代理公司： | 郑州德勤知识产权代理有限公司 41128 | 代理人： | 黄红梅 |
| 地址： | 450001 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种微型低功耗红外气体传感器，它包括MEMS红外光源、微型探测器、底板和内盖；所述内盖设置在所述底板上，构成该微型低功耗红外气体传感器的光学腔体；所述内盖的一端设置第一反射面，另一端设置第二反射面；MEMS红外光源对应设置在第一反射面下方，微型探测器对应设置在第二反射面下方；底板上开设若干通孔，待测气体经所述通孔进入光学腔体中；所述MEMS红外光源发出的红外光线依次经所述第一反射面反射、所述第二反射面反射后，由所述微型探测器接收。本实用新型具有结构简单和体积较小的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 功耗 红外 气体 传感器 | ||
【主权项】：
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