[实用新型]一种微型低功耗红外气体传感器有效
| 申请号： | 201921188190.9 | 申请日： | 2019-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN210665491U | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 古瑞琴;高胜国;田勇;赵云祥;连金锋;赵敬晓 | 申请（专利权）人： | 郑州炜盛电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/3504 | 分类号： | G01N21/3504;G01N21/01 |
| 代理公司： | 郑州德勤知识产权代理有限公司 41128 | 代理人： | 黄红梅 |
| 地址： | 450001 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微型 功耗 红外 气体 传感器 | ||
1.一种微型低功耗红外气体传感器，其特征在于：包括MEMS红外光源、微型探测器、底板和内盖；
所述内盖设置在所述底板上，构成该微型低功耗红外气体传感器的光学腔体；
所述内盖内部的一端设置第一反射面，另一端设置第二反射面；
所述MEMS红外光源对应设置在所述第一反射面下方，所述微型探测器对应设置在所述第二反射面下方；
所述底板上开设若干通孔，待测气体经所述通孔进入所述光学腔体中；
所述MEMS红外光源发出的红外光线依次经所述第一反射面反射、所述第二反射面反射后，由所述微型探测器接收。
2.根据权利要求1所述的微型低功耗红外气体传感器，其特征在于：所述底板和所述内盖设置在传感器壳体内；
所述传感器壳体上开设有进气孔，所述进气孔对应所述通孔设置。
3.根据权利要求2所述的微型低功耗红外气体传感器，其特征在于：所述传感器壳体底部的两端分别设置凹槽；所述MEMS红外光源设置在其中一凹槽内，该凹槽内设置有光源焊盘；所述微型探测器设置在另一凹槽，该凹槽内设置有探测器焊盘。
4.根据权利要求1所述的微型低功耗红外气体传感器，其特征在于：第一反射面、所述第二反射面与所述底板的夹角均为45°。
5.根据权利要求1所述的微型低功耗红外气体传感器，其特征在于：所述第一反射面和所述第二反射面均镀有金属反光层。
6.根据权利要求1所述的微型低功耗红外气体传感器，其特征在于：所述微型探测器的体积为3mm*3mm ~5mm*5mm。
7.根据权利要求6所述的微型低功耗红外气体传感器，其特征在于：所述微型探测器的体积为3.8mm*3.8mm。
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