[实用新型]一种微型低功耗红外气体传感器

说明书

本实用新型提供了一种微型低功耗红外气体传感器，它包括MEMS红外光源、微型探测器、底板和内盖；所述内盖设置在所述底板上，构成该微型低功耗红外气体传感器的光学腔体；所述内盖的一端设置第一反射面，另一端设置第二反射面；MEMS红外光源对应设置在第一反射面下方，微型探测器对应设置在第二反射面下方；底板上开设若干通孔，待测气体经所述通孔进入光学腔体中；所述MEMS红外光源发出的红外光线依次经所述第一反射面反射、所述第二反射面反射后，由所述微型探测器接收。本实用新型具有结构简单和体积较小的优点。

技术领域

本实用新型涉及红外气体检测技术领域，具体的说，涉及了一种微型低功耗红外气体传感器。

背景技术

以红外吸收原理为代表的光学气体传感器是气体传感的一个重要分支，是一种优异的气体传感器技术，红外气体传感器的工作原理为基于不同气体分子的近红外光谱选择吸收特性，利用气体浓度与吸收强度关系（朗伯-比尔Lambert-Beer定律）鉴别气体组分并确定其浓度。红外气体传感器适用于监测各种易燃易爆、二氧化碳气体，具有精度高、选择性好、可靠性高、不中毒、不依赖于氧气、受环境干扰因素较小、寿命长等显著优点，未来逐步成为市场主流。

目前，现有技术中常见红外气体传感器多使用灯泡式或LED式的红外光源，属于大体积探测器，为保证传感器灵敏度和分辨率，设计的配套光学腔体亦为大体积，因此，导致此类型传感器体积偏大、功耗高，已不满足产品小体积、低功耗、低成本方向发展的需求。

为了解决以上存在的问题，人们一直在寻求一种理想的技术解决方案。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术的不足，从而提供一种微型低功耗红外气体传感器。

为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种微型低功耗红外气体传感器，包括MEMS红外光源、微型探测器、底板和内盖；

所述内盖设置在所述底板上，构成该微型低功耗红外气体传感器的光学腔体；

所述内盖内部的一端设置第一反射面，另一端设置第二反射面；

所述MEMS红外光源对应设置在所述第一反射面下方，所述微型探测器对应设置在所述第二反射面下方；

所述底板上开设若干通孔，待测气体经所述通孔进入所述光学腔体中；

所述MEMS红外光源发出的红外光线依次经所述第一反射面反射、所述第二反射面反射后，由所述微型探测器接收。

基于上述，所述底板和所述内盖设置在传感器壳体内；

所述传感器壳体上开设有进气孔，所述进气孔对应所述通孔设置。

基于上述，所述传感器壳体底部的两端分别设置凹槽；所述MEMS红外光源设置在其中一凹槽内，该凹槽内设置有光源焊盘；所述微型探测器设置在另一凹槽，该凹槽内设置有探测器焊盘。

本实用新型相对现有技术具有实质性特点和进步，具体的说：

1）本实用新型提供了一种微型低功耗红外气体传感器，包括MEMS红外光源、微型探测器、底板和内盖，所述MEMS红外光源发出的红外光线依次经所述第一反射面反射、所述第二反射面反射后，由所述微型探测器接收；本实用新型将MEMS红外光源、微型探测器和该微型低功耗红外气体传感器的检测腔体集成在一起，减小了红外气体传感器的体积，携带方便；

且光源采用MEMS红外光源，探测器为微型探测器，进一步减小了该微型低功耗红外气体传感器的体积，同时具有功耗低的优点；

2）所述反射面与所述底板的夹角设置为45°；所述第一反射面和所述第二反射面均镀有金属反光层，使得该微型低功耗红外气体传感器检测气体浓度时光强损失小，从而提高了检测精度。

附图说明