[实用新型]一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉

摘要

本实用新型公开了一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉，包括炉体和炉盖，炉盖位于炉体的上方，炉盖上方中部的连接管通过排气管路与真空泵连通，炉体包括内室和外室，外室套设在内室的外侧，连接管与内室连通；外室与内室之间的中空结构内设有发热体，发热体四周填充有惰性气体，外室外侧设有与外室连通的第一压力监测表和与内室连通的第二压力监测表，第一压力监测表和第二压力监测表均与压差表连接，压差表与外室上用于控制惰性气体流通的气体流量阀连接。本实用新型采用上述结构的一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉，实时监测内室与外室压差，保证炉体正常工作。