[实用新型]一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉

说明书

本实用新型公开了一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉，包括炉体和炉盖，炉盖位于炉体的上方，炉盖上方中部的连接管通过排气管路与真空泵连通，炉体包括内室和外室，外室套设在内室的外侧，连接管与内室连通；外室与内室之间的中空结构内设有发热体，发热体四周填充有惰性气体，外室外侧设有与外室连通的第一压力监测表和与内室连通的第二压力监测表，第一压力监测表和第二压力监测表均与压差表连接，压差表与外室上用于控制惰性气体流通的气体流量阀连接。本实用新型采用上述结构的一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉，实时监测内室与外室压差，保证炉体正常工作。

技术领域

本实用新型涉及真空沉积炉技术领域，特别是涉及一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉。

背景技术

国内高温化学气相沉积炉采用内室沉积、外室加热的结构，内室有沉积气体工作，外室有发热体工作。外室一般由石墨发热体或铜电极作为炉温辐射热源，内外室由耐高温材质隔开，内室不断通入沉积气体工作。目前，隔开内外室的材质不能完成隔绝内室沉积气体外溢到外室，沉积气体沉积在发热体表面会降低发热效率、降低发热体寿命。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉，实时监测内室与外室压差，保证炉体正常工作。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉，包括炉体和炉盖，所述炉盖位于所述炉体的上方，所述炉盖上方中部的连接管通过排气管路与真空泵连通，所述炉体包括内室和外室，所述外室套设在所述内室的外侧，所述连接管与所述内室连通；

所述外室与所述内室之间的中空结构内设有发热体，所述发热体四周填充有惰性气体，所述外室外侧设有与所述外室连通的第一压力监测表和与所述内室连通的第二压力监测表，所述第一压力监测表和所述第二压力监测表均与压差表连接，所述压差表与所述外室上用于控制惰性气体流通的气体流量阀连接。

优选的，所述第一压力监测表外套设有贯穿所述外室壁的第一防护管，所述第二压力监测表外套设有贯穿所述外室壁和所述内室壁的第二防护管，所述第一防护管和所述第二防护管的内侧均填充有保护层。

优选的，所述第一防护管和所述第二防护管的两端均设有活动封闭件。

优选的，所述第一防护管与所述外室壁之间设有密封圈，所述第二防护管与所述外室壁、所述内室壁的连接处均设有密封圈。

优选的，所述内室与所述外室为同一底部。

因此，本实用新型采用上述结构的一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉，实时监测内室与外室压差，保证炉体正常工作。

下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

图1是本实用新型一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉实施例的示意图。

附图标记

1、炉体；2、炉盖；3、连接管；4、排气管路；5、真空泵；6、内室；7、外室；8、发热体；9、惰性气体；10、第一压力监测表；11、第二压力监测表；12、压差表；13、气体流量阀；14、第一防护管；15、第二防护管；16、封闭件；17、保护层。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的实施方式做进一步的说明。