[实用新型]一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉

权利要求书

1.一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉，包括炉体和炉盖，所述炉盖位于所述炉体的上方，其特征在于：所述炉盖上方中部的连接管通过排气管路与真空泵连通，所述炉体包括内室和外室，所述外室套设在所述内室的外侧，所述连接管与所述内室连通；

所述外室与所述内室之间的中空结构内设有发热体，所述发热体四周填充有惰性气体，所述外室外侧设有与所述外室连通的第一压力监测表和与所述内室连通的第二压力监测表，所述第一压力监测表和所述第二压力监测表均与压差表连接，所述压差表与所述外室上用于控制惰性气体流通的气体流量阀连接。

2.根据权利要求1所述的一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉，其特征在于：所述第一压力监测表外套设有贯穿所述外室壁的第一防护管，所述第二压力监测表外套设有贯穿所述外室壁和所述内室壁的第二防护管，所述第一防护管和所述第二防护管的内侧均填充有保护层。

3.根据权利要求2所述的一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉，其特征在于：所述第一防护管和所述第二防护管的两端均设有活动封闭件。

4.根据权利要求3所述的一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉，其特征在于：所述第一防护管与所述外室壁之间设有密封圈，所述第二防护管与所述外室壁、所述内室壁的连接处均设有密封圈。

5.根据权利要求1所述的一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉，其特征在于：所述内室与所述外室为同一底部。