[实用新型]一种用于镀膜机腔体中的防护机构

摘要

本实用新型公开了一种用于镀膜机腔体中的防护机构，包括由一类防护板和二类防护板围成的可拆卸的防护箱，一类防护板上开设有与靶材面相对的通孔，二类防护板上开设有与导轨相对应且贯通的缺口。还包括设置在靶材与一类防护板之间的防护通道、设置在导轨上的导轨防护罩，以及限位板。本实用新型通过设置可拆卸的防护箱，并在防护箱侧壁上分别设置相应的通孔和缺口，能实现既不影响镀膜工作的顺利进行，又能将溅射金属拦截在该防护箱内侧，方便清理，利于回收贵重金属，实现资源再利用。还通过加设防护通道和导轨防护罩，能进一步加强防护效果。还通过设置限位板，方便防护箱的拆装。该防护机构结构简单、易于拆装，防护效果好，节能环保。