[实用新型]一种用于镀膜机腔体中的防护机构

权利要求书

1.一种用于镀膜机腔体中的防护机构，其特征在于，包括两个相对设置的一类防护板和两个相对设置的二类防护板，所述一类防护板和二类防护板彼此相接，围成具有四个侧壁的防护箱，所述一类防护板设置在镀膜机腔体中基片托架导轨的两侧，且所述一类防护板上开设有与靶材面相对的通孔，所述二类防护板设置在所述基片托架导轨上方且与其垂直设置，所述二类防护板上开设有与所述基片托架导轨相对应且贯通的缺口。

2.根据权利要求1所述的用于镀膜机腔体中的防护机构，其特征在于，还包括设置在靶材与所述一类防护板之间的挡板插件，所述挡板插件包括多个，彼此相接形成靶材面至所述一类防护板通孔之间的防护通道。

3.根据权利要求1所述的用于镀膜机腔体中的防护机构，其特征在于，所述防护箱和防护通道均属于可拆卸结构。

4.根据权利要求1所述的用于镀膜机腔体中的防护机构，其特征在于，还包括用于固定在镀膜机外箱体内壁上的限位板。

5.根据权利要求4所述的用于镀膜机腔体中的防护机构，其特征在于，所述限位板采用L型板或U型板，包括至少两个，至少两个限位板分别固定在靶材的两侧，且所述至少两个限位板之间的距离等于所述一类防护板的长度距离。

6.根据权利要求5所述的用于镀膜机腔体中的防护机构，其特征在于，所述限位板包括四个，分别用于设置在所述防护箱的四角，以实现对所述防护箱的限位。

7.根据权利要求1至6任一项所述的用于镀膜机腔体中的防护机构，其特征在于，还包括设置在所述基片托架导轨上的导轨防护罩，所述导轨防护罩的中心开设有用于基片托架移动的移动槽。

8.根据权利要求7所述的用于镀膜机腔体中的防护机构，其特征在于，所述导轨防护罩通过销轴固定在基片托架导轨上。

9.根据权利要求8所述的用于镀膜机腔体中的防护机构，其特征在于，所述防护箱架设在所述导轨防护罩上部，且所述防护箱底部结构与所述导轨防护罩上部结构相匹配。