[实用新型]一种用于镀膜机腔体中的防护机构

说明书

本实用新型公开了一种用于镀膜机腔体中的防护机构，包括由一类防护板和二类防护板围成的可拆卸的防护箱，一类防护板上开设有与靶材面相对的通孔，二类防护板上开设有与导轨相对应且贯通的缺口。还包括设置在靶材与一类防护板之间的防护通道、设置在导轨上的导轨防护罩，以及限位板。本实用新型通过设置可拆卸的防护箱，并在防护箱侧壁上分别设置相应的通孔和缺口，能实现既不影响镀膜工作的顺利进行，又能将溅射金属拦截在该防护箱内侧，方便清理，利于回收贵重金属，实现资源再利用。还通过加设防护通道和导轨防护罩，能进一步加强防护效果。还通过设置限位板，方便防护箱的拆装。该防护机构结构简单、易于拆装，防护效果好，节能环保。

技术领域

本实用新型涉及溅射镀膜技术领域，特别是涉及一种用于镀膜机腔体中的防护机构。

背景技术

由于溅射镀膜机溅射出来的材质一般比较贵重，在溅射镀膜工作过程中会同样溅射到机器的外箱侧壁上，或者溅射到基片托架导轨上，这样溅射机需要定期清理。清理时不仅困难繁琐，而且必须要停机操作，还很有可能造成清理不彻底，影响后续的镀膜产品的品质。

在此基础上，本申请创设一种新的拆装方便的用于镀膜机腔体中的防护机构，使其能大大减少清理时间，还能方便回收贵重金属，使资源重复利用，节能环保。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种用于镀膜机腔体中的防护机构，使其能大大减少清理时间，还能方便回收贵重金属，使资源重复利用，节能环保，从而克服现有的镀膜机存在的不足。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种用于镀膜机腔体中的防护机构，包括两个相对设置的一类防护板和两个相对设置的二类防护板，所述一类防护板和二类防护板彼此相接，围成具有四个侧壁的防护箱，所述一类防护板设置在镀膜机腔体中基片托架导轨的两侧，且所述一类防护板上开设有与靶材面相对的通孔，所述二类防护板设置在所述基片托架导轨上方且与其垂直设置，所述二类防护板上开设有与所述基片托架导轨相对应且贯通的缺口。

进一步改进，还包括设置在靶材与所述一类防护板之间的挡板插件，所述挡板插件包括多个，彼此相接形成靶材面至所述一类防护板通孔之间的防护通道。

进一步改进，所述防护箱和防护通道均属于可拆卸结构。

进一步改进，还包括用于固定在镀膜机外箱体内壁上的限位板。

进一步改进，所述限位板采用L型板或U型板，包括至少两个，至少两个限位板分别固定在靶材的两侧，且所述至少两个限位板之间的距离等于所述一类防护板的长度距离。

进一步改进，所述限位板包括四个，分别用于设置在所述防护箱的四角，以实现对所述防护箱的限位。

进一步改进，还包括设置在所述基片托架导轨上的导轨防护罩，所述导轨防护罩的中心开设有用于基片托架移动的移动槽。

进一步改进，所述导轨防护罩通过销轴固定在基片托架导轨上。

进一步改进，所述防护箱架设在所述导轨防护罩上部，且所述防护箱底部结构与所述导轨防护罩上部结构相匹配。

采用这样的设计后，本实用新型至少具有以下优点：

1.本实用新型用于镀膜机腔体中的防护机构通过设置可拆卸的具有四个侧壁的防护箱，并在防护箱侧壁上分别设置相应的通孔和缺口，能实现既不影响镀膜工作的顺利进行，又能将溅射金属拦截在该防护箱内侧，方便清理，利于回收贵重金属，实现资源再利用。

2.还通过加设防护通道，进一步的防止溅射金属从靶材与一类防护板之间的缝隙溅出，防护效果加强。

3.还通过设置限位板，方便防护箱每次拆卸后重新安装时的位置固定，简化了操作，提高了效率。