[实用新型]一种切割晶圆用的线锯机有效
| 申请号： | 201921108480.8 | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN210500883U | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 刘召满 | 申请（专利权）人： | 成都汉芯国科集成技术有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/02 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 白小明 |
| 地址： | 610000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种切割晶圆用的线锯机，包括工作台，所述工作台中部设置有锯条，所述工作台下部设置有机座，所述机座一侧设置有吸尘机，所述吸尘机一侧通过集尘管与集尘箱连通，所述吸尘机另一侧与上吸尘管的一端连接，所述上吸尘管的另一端与吸尘盒连通，所述上吸尘管为软管，所述吸尘盒上部设置有吸尘口，位于所述吸尘口一侧的吸尘盒上设置有自动推杆，所述自动推杆与刮杆固定连接，所述吸尘盒下部设置有气缸推杆。通过设置自动推杆和刮杆，可以将工作台上的废屑集中到一起，便于对废屑的清理，使工作台保持干净。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切割 晶圆用 锯机 | ||
【主权项】：
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