[实用新型]一种切割晶圆用的线锯机

说明书

本实用新型公开了一种切割晶圆用的线锯机，包括工作台，所述工作台中部设置有锯条，所述工作台下部设置有机座，所述机座一侧设置有吸尘机，所述吸尘机一侧通过集尘管与集尘箱连通，所述吸尘机另一侧与上吸尘管的一端连接，所述上吸尘管的另一端与吸尘盒连通，所述上吸尘管为软管，所述吸尘盒上部设置有吸尘口，位于所述吸尘口一侧的吸尘盒上设置有自动推杆，所述自动推杆与刮杆固定连接，所述吸尘盒下部设置有气缸推杆。通过设置自动推杆和刮杆，可以将工作台上的废屑集中到一起，便于对废屑的清理，使工作台保持干净。

技术领域

本实用新型涉及晶圆线锯机技术领域，具体涉及一种切割晶圆用的线锯机。

背景技术

电子产品主要靠其内的芯片来实现对其的控制，芯片若质量差，会导致理疗仪在工作时不稳定，所以芯片是电子产品内极其重要的部分，芯片主要载体即为晶圆，所以晶圆的质量会影响到芯片的质量，在晶圆生产过程中会用到线锯机，现有的线锯机没有废屑处理装置，需要人工对线锯机进行清理，导致晶圆生产效率下降。

发明内容

本实用新型的目的在于：针对上述现有的线锯机没有废屑处理装置，需要人工对线锯机进行清理的现象晶圆生产效率下降等问题，本实用新型提供一种切割晶圆用的线锯机。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种切割晶圆用的线锯机，包括工作台，所述工作台中部设置有锯条，所述工作台下部设置有机座，所述机座一侧设置有吸尘机，所述吸尘机一侧通过集尘管与集尘箱连通，所述吸尘机另一侧与上吸尘管的一端连接，所述上吸尘管的另一端与吸尘盒连通，所述上吸尘管为软管，所述吸尘盒上部设置有吸尘口，位于所述吸尘口一侧的吸尘盒上设置有自动推杆，所述自动推杆与刮杆固定连接，所述吸尘盒下部设置有气缸推杆。

工作原理：

晶圆切割完成后，启动气缸推杆，气缸推杆伸长，将吸尘盒向上推送。当吸尘盒高度高于工作台时关闭气缸推杆，启动自动推杆，自动推杆伸长，刮杆到达工作台最远端时关闭自动推杆，启动气缸推杆，使气缸推杆下降至刮杆与工作台接触后，再次启动自动推杆，自动推杆收缩，刮杆将工作台上的废屑刮向吸尘盒，废屑从吸尘口落入吸尘盒内。同时打开吸尘机，吸尘机产生吸力，将落入吸尘盒内的废屑吸入，再通过集尘管将废屑收集在集尘箱内。通过设置自动推杆和刮杆，可以将工作台上的废屑集中到一起，便于对废屑的清理，使工作台保持干净。通过设置气缸推杆，使吸尘盒能够自由升降，在不需要除尘时放置在工作台一侧，不会耽误切割工作的进行。通过设置集尘箱，使废屑能够收集在一起，便于对废屑的统一处理。

进一步，所述吸尘盒宽度与为工作台宽度的1.1-1.3倍。通过设置吸尘盒的宽度，使吸尘盒有足够的宽度，避免废屑从工作台两边落在地上，污染工厂环境。

进一步，所述自动推杆数量为两个，两个所述自动推杆以锯条位置为界并列设置，两个所述刮杆相邻处设置有横向毛刷。通过设置两个自动，可以扩大刮杆的清理范围提高清理效率，进一步保证除尘效果。

进一步，所述刮杆下部设置有竖向毛刷。通过设置竖向毛刷，对废屑的清理效果好，避免废屑被遗漏在工作台上。

进一步，所述吸尘机一侧设置有下吸尘管，所述下吸尘管延伸至机座内与吸尘罩连接，所述吸尘罩位于锯条下方。通过设置下吸尘管和吸尘罩，可以对落入机座内的废屑进行清理，避免机座内废屑堆积，影响切割效率。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1.通过设置自动推杆和刮杆，可以将工作台上的废屑集中到一起，便于对废屑的清理，使工作台保持干净；

2.通过设置气缸推杆，使吸尘盒能够自由升降，在不需要除尘时放置在工作台一侧，不会耽误切割工作的进行；

3.通过设置集尘箱，使废屑能够收集在一起，便于对废屑的统一处理；