[实用新型]一种切割晶圆用的线锯机有效
| 申请号： | 201921108480.8 | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN210500883U | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 刘召满 | 申请（专利权）人： | 成都汉芯国科集成技术有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/02 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 白小明 |
| 地址： | 610000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 切割 晶圆用 锯机 | ||
1.一种切割晶圆用的线锯机，包括工作台(11)，其特征在于，所述工作台(11)中部设置有锯条(10)，所述工作台(11)下部设置有机座(14)，所述机座(14)一侧设置有吸尘机(3)，所述吸尘机(3)一侧通过集尘管(2)与集尘箱(1)连通，所述吸尘机(3)另一侧与上吸尘管(4)的一端连接，所述上吸尘管(4)的另一端与吸尘盒(5)连通，所述上吸尘管(4)为软管，所述吸尘盒(5)上部设置有吸尘口(8)，位于所述吸尘口(8)一侧的吸尘盒(5)上设置有自动推杆(6)，所述自动推杆(6)与刮杆(7)固定连接，所述吸尘盒(5)下部设置有气缸推杆(16)。
2.根据权利要求1所述的一种切割晶圆用的线锯机，其特征在于，所述吸尘盒(5)宽度与为工作台(11)宽度的1.1-1.3倍。
3.根据权利要求1所述的一种切割晶圆用的线锯机，其特征在于，所述自动推杆(6)数量为两个，两个所述自动推杆(6)以锯条(10)位置为界并列设置，两个所述刮杆(7)相邻处设置有横向毛刷(15)。
4.根据权利要求1所述的一种切割晶圆用的线锯机，其特征在于，所述刮杆(7)下部设置有竖向毛刷(9)。
5.根据权利要求1所述的一种切割晶圆用的线锯机，其特征在于，所述吸尘机(3)一侧设置有下吸尘管(12)，所述下吸尘管(12)延伸至机座(14)内与吸尘罩(13)连接，所述吸尘罩(13)位于锯条(10)下方。
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