[实用新型]一种半导体芯片无尘研磨装置

摘要

本实用新型公开了一种半导体芯片无尘研磨装置，包括安装台，所述安装台的上端面上固定安装有安装杆，所述安装杆上固定安装有固定杆，所述固定杆的底部设置有研磨部件，所述安装台的上端面上转动安装有工作台，所述安装台上对应工作台位置处设置有吸尘机构，本实用新型为一种半导体芯片无尘研磨装置，通过设置监控头、丝杆电机和万向伸缩管等，达到了提高芯片的研磨效果，降低影响损伤，提高芯片质量，达到无尘研磨的效果，解决了目前的研磨装置大多数无法保证精度，研磨过程中容易在芯片表面产生硬性损伤，导致芯片损伤，质量下降，且芯片的研磨过程中会产生灰尘，污染环境的问题。