[实用新型]一种半导体芯片无尘研磨装置

说明书

本实用新型公开了一种半导体芯片无尘研磨装置，包括安装台，所述安装台的上端面上固定安装有安装杆，所述安装杆上固定安装有固定杆，所述固定杆的底部设置有研磨部件，所述安装台的上端面上转动安装有工作台，所述安装台上对应工作台位置处设置有吸尘机构，本实用新型为一种半导体芯片无尘研磨装置，通过设置监控头、丝杆电机和万向伸缩管等，达到了提高芯片的研磨效果，降低影响损伤，提高芯片质量，达到无尘研磨的效果，解决了目前的研磨装置大多数无法保证精度，研磨过程中容易在芯片表面产生硬性损伤，导致芯片损伤，质量下降，且芯片的研磨过程中会产生灰尘，污染环境的问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体芯片技术领域，具体为一种半导体芯片无尘研磨装置。

背景技术

集成电路或称微电路、微芯片、晶片/芯片，在电子学中是一种把电路(主要包括半导体设备，也包括被动组件等)小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上。

半导体芯片在加工过程中需要进行研磨，目前的研磨装置大多数无法保证精度，研磨过程中容易在芯片表面产生硬性损伤，导致芯片损伤，质量下降，且芯片的研磨过程中会产生灰尘，污染环境。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体芯片无尘研磨装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种半导体芯片无尘研磨装置，包括安装台，所述安装台的上端面上固定安装有安装杆，所述安装杆上固定安装有固定杆，所述固定杆的底部设置有研磨部件，所述安装台的上端面上转动安装有工作台，所述安装台上对应工作台位置处设置有吸尘机构。

优选的，所述安装台的内部设置有电机，所述电机的输出端与工作台的下端面固定连接，所述工作台的上端面上开设有若干个均匀环绕分布的芯片槽。

优选的，所述研磨部件包括升降柱，所述升降柱固定安装在固定杆的下端面上，所述升降柱的左侧端面上开设有升降槽，所述升降槽的内部转动安装有丝杆，所述升降柱的下端面上固定安装有丝杆电机，所述丝杆电机的输出端与丝杆固定连接，所述升降槽的内部设置有升降座，所述升降座设置在丝杆上，所述升降座的左端固定安装有研磨机，所述研磨机的底部设置有安装座，所述安装座上设置有研磨头，所述研磨头与芯片槽的位置相对应。

优选的，所述工作台的上端面中心位置处固定安装有固定座，所述固定座的外侧壁上对应芯片槽位置处固定安装有监控头。

优选的，所述吸尘机构包括集尘箱，所述集尘箱固定安装在安装台的右侧壁上，所述集尘箱上设置有抽风机，所述集尘箱的前后两端固定安装有抽气管道，所述抽气管道上固定安装有连通管道。

优选的，所述安装台的前后端面上固定安装有固定架，所述连通管道设置在固定架上，所述连通管道的另一端固定安装有万向伸缩管，所述万向伸缩管的另一端设置对应设置在芯片槽位置处。