[实用新型]一种半导体芯片无尘研磨装置

权利要求书

1.一种半导体芯片无尘研磨装置，包括安装台(1)，其特征在于：所述安装台(1)的上端面上固定安装有安装杆(2)，所述安装杆(2)上固定安装有固定杆(3)，所述固定杆(3)的底部设置有研磨部件，所述安装台(1)的上端面上转动安装有工作台(12)，所述安装台(1)上对应工作台(12)位置处设置有吸尘机构。

2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片无尘研磨装置，其特征在于：所述安装台(1)的内部设置有电机(13)，所述电机(13)的输出端与工作台(12)的下端面固定连接，所述工作台(12)的上端面上开设有若干个均匀环绕分布的芯片槽(14)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体芯片无尘研磨装置，其特征在于：所述研磨部件包括升降柱(4)，所述升降柱(4)固定安装在固定杆(3)的下端面上，所述升降柱(4)的左侧端面上开设有升降槽(5)，所述升降槽(5)的内部转动安装有丝杆(6)，所述升降柱(4)的下端面上固定安装有丝杆电机(7)，所述丝杆电机(7)的输出端与丝杆(6)固定连接，所述升降槽(5)的内部设置有升降座(8)，所述升降座(8)设置在丝杆(6)上，所述升降座(8)的左端固定安装有研磨机(9)，所述研磨机(9)的底部设置有安装座(10)，所述安装座(10)上设置有研磨头(11)，所述研磨头(11)与芯片槽(14)的位置相对应。

4.根据权利要求3所述的一种半导体芯片无尘研磨装置，其特征在于：所述工作台(12)的上端面中心位置处固定安装有固定座(15)，所述固定座(15)的外侧壁上对应芯片槽(14)位置处固定安装有监控头(16)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体芯片无尘研磨装置，其特征在于：所述吸尘机构包括集尘箱(17)，所述集尘箱(17)固定安装在安装台(1)的右侧壁上，所述集尘箱(17)上设置有抽风机(18)，所述集尘箱(17)的前后两端固定安装有抽气管道(19)，所述抽气管道(19)上固定安装有连通管道(20)。

6.根据权利要求5所述的一种半导体芯片无尘研磨装置，其特征在于：所述安装台(1)的前后端面上固定安装有固定架(21)，所述连通管道(20)设置在固定架(21)上，所述连通管道(20)的另一端固定安装有万向伸缩管(22)，所述万向伸缩管(22)的另一端设置对应设置在芯片槽(14)位置处。