[实用新型]一种快速定位的晶片台有效
| 申请号： | 201921096747.6 | 申请日： | 2019-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN209947808U | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 刘德强 | 申请（专利权）人： | 深圳市盛元半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/68 |
| 代理公司： | 11508 北京维正专利代理有限公司 | 代理人： | 苏龙 |
| 地址： | 518103 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种快速定位的晶片台，属于半导体粘片机技术领域，其技术方案要点：包括安装在晶片台本体内的底座板，以及安装在底座板上的突针机构，所述底座板上滑移连接有可横向移动的第一定位板，所述第一定位板上滑移连接有可竖向移动的第二定位板，所述突针机构固定在第二定位板上，所述第一定位板以及第二定位板上均安装有驱动第一定位板或第二定位板沿预定方向水平移动的驱动组件，所述底座板上安装有用于限制第一定位板以及第二定位板移动的锁定件。本实用新型在使用时，能够快速对晶片台上的突针机构进行定位，提高工作效率，并且提高晶片台的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 定位板 底座板 突针 本实用新型 晶片台 晶片 上滑 技术方案要点 可横向移动 工作效率 快速定位 驱动组件 竖向移动 预定方向 锁定件 粘片机 半导体 体内 驱动 移动 | ||
【主权项】：
1.一种快速定位的晶片台，其特征在于，包括：安装在晶片台本体（1）内的底座板（11），以及安装在底座板（11）上的突针机构（12），所述底座板（11）上滑移连接有可横向移动的第一定位板（2），所述第一定位板（2）上滑移连接有可竖向移动的第二定位板（3），所述突针机构（12）固定在第二定位板（3）上，所述第一定位板（2）以及第二定位板（3）上均安装有驱动第一定位板（2）或第二定位板（3）沿预定方向水平移动的驱动组件，所述底座板（11）上安装有用于限制第一定位板（2）以及第二定位板（3）移动的锁定件。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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