[实用新型]一种快速定位的晶片台

权利要求书

1.一种快速定位的晶片台，其特征在于，包括：安装在晶片台本体（1）内的底座板（11），以及安装在底座板（11）上的突针机构（12），所述底座板（11）上滑移连接有可横向移动的第一定位板（2），所述第一定位板（2）上滑移连接有可竖向移动的第二定位板（3），所述突针机构（12）固定在第二定位板（3）上，所述第一定位板（2）以及第二定位板（3）上均安装有驱动第一定位板（2）或第二定位板（3）沿预定方向水平移动的驱动组件，所述底座板（11）上安装有用于限制第一定位板（2）以及第二定位板（3）移动的锁定件。

2.根据权利要求1所述的一种快速定位的晶片台，其特征在于，所述驱动组件包括：安装在底座板（11）承载面上、且活塞杆与第一定位板（2）连接的第一气缸（4），以及安装在第一定位板（2）上、且活塞杆与第二定位板（3）连接的第二气缸（41）。

3.根据权利要求1所述的一种快速定位的晶片台，其特征在于，所述驱动组件包括：固定在第一定位板（2）侧面上的第一螺母（5），以及固定在第二定位板（3）侧面上的第二螺母（51），所述第一螺母（5）内穿插有第一螺杆（52），所述第二螺母（51）内穿插有第二螺杆（53），所述底座板（11）上安装有用于驱动第一螺杆（52）旋转的第一电机（54），所述第一定位板（2）安装有用于驱动第二螺杆（53）旋转的第二电机（55）。

4.根据权利要求1所述的一种快速定位的晶片台，其特征在于，所述底座板（11）承载面上的两侧安装有第一挡板（6），所述第一定位板（2）承载面上的两侧安装有第二挡板（61），所述第一挡板（6）内侧安装有穿插过第一定位板（2）的第一导杆（62），所述第二挡板（61）内侧安装有穿插过第二定位板（3）的第二导杆（63），所述第一导杆（62）与第二导杆（63）的延伸方向互相垂直。

5.根据权利要求1所述的一种快速定位的晶片台，其特征在于，所述锁定件包括：安装在第一定位板（2）承载面上的微型电机（7），以及与微型电机（7）输出轴相连的勾块（71），所述勾块（71）可与第一导杆（62）相抵触。

6.根据权利要求1所述的一种快速定位的晶片台，其特征在于，所述底座板（11）承载面上开设有凹槽（8），所述第一定位板（2）底部安装有与凹槽（8）相匹配的凸板（81），所述凹槽（8）的延伸方向与第一定位板（2）滑移方向相同。

7.根据权利要求6所述的一种快速定位的晶片台，其特征在于，所述凹槽（8）侧壁安装有与第一定位板（2）以及第二定位板（3）相抵触的定位轮（82）。

8.根据权利要求4所述的一种快速定位的晶片台，其特征在于，所述第一导杆（62）以及第二导杆（63）上均套设有弹簧（9）。