[实用新型]基于太阳电池制造工艺的硅片表面抑制氧化系统

摘要

本实用新型公开了基于太阳电池制造工艺的硅片表面抑制氧化系统，包括新风系统、臭氧过滤器；所述新风系统内沿空气输送方向依次设有初效过滤器、空调系统、中效过滤器；所述新风系统一侧设有末端带高效过滤器的输气管；所述高效过滤器下方设有烘干槽的车间；所述烘干槽一侧设有末端连接有烘干风机的烘干排气口，所述烘干风机上方设有末端带烘干高效过滤器的烘干输气管；所述的臭氧过滤器安在中效过滤器与高效过滤器之间、烘干输气管与烘干高效过滤器之间。本实用新型的有益效果是：通过臭氧过滤器，充分保证硅片表面不被臭氧氧化；通过多个输气管末端与车间相连，同时设置臭氧过滤器，提高臭氧去除效率；通过空调系统，实现车间内温度的稳定。