[实用新型]基于太阳电池制造工艺的硅片表面抑制氧化系统

权利要求书

1.基于太阳电池制造工艺的硅片表面抑制氧化系统，其特征在于：包括新风系统(1)、臭氧过滤器(7)；所述新风系统(1)内沿空气输送方向依次设有初效过滤器(2)、空调系统(4)、中效过滤器(3)；所述新风系统(1)靠近中效过滤器(3)一侧设有输气管(5)；所述输气管(5)末端设有高效过滤器(6)；所述的臭氧过滤器(7)固定在中效过滤器(3)与高效过滤器(6)之间，并紧靠高效过滤器(6)；所述输气管(5)末端通过高效过滤器(6)与车间(8)顶部相通；所述车间(8)两侧设有排气口(12)；所述车间(8)内分别设有化学气相沉积室(10)、制绒清洗设备(9)；所述制绒清洗设备(9)内设有烘干槽(91)；所述烘干槽(91)一侧设有烘干排气口(93)，所述烘干排气口(93)沿空气输送方向末端连接有烘干风机(95)；所述烘干风机(95)上方设有烘干输气管(92)，下方设有烘干进气管(94)；所述烘干输气管(92)末端弯曲设置，并设有烘干高效过滤器(96)；所述烘干输气管(92)末端通过烘干高效过滤器(96)与烘干槽(91)顶部固定连接。

2.根据权利要求1所述的基于太阳电池制造工艺的硅片表面抑制氧化系统，其特征在于：所述的臭氧过滤器(7)沿空气输送方向还可选用初效过滤器(2)之前、初效过滤器(2)与中效过滤器(3)之间、高效过滤器(6)与车间(8)之间中三个位置中一个及以上。

3.根据权利要求1所述的基于太阳电池制造工艺的硅片表面抑制氧化系统，其特征在于：所述的烘干高效过滤器(96)与烘干输气管(92)之间还设有烘干臭氧过滤器(97)，所述烘干臭氧过滤器(97)紧靠烘干高效过滤器(96)。

4.根据权利要求3所述的基于太阳电池制造工艺的硅片表面抑制氧化系统，其特征在于：所述的烘干臭氧过滤器(97)还可以固定在烘干高效过滤器(96)与烘干槽(91)之间。

5.根据权利要求1所述的基于太阳电池制造工艺的硅片表面抑制氧化系统，其特征在于：所述的新风系统(1)沿输送方向开有若干通风孔(11)。

6.根据权利要求1所述的基于太阳电池制造工艺的硅片表面抑制氧化系统，其特征在于：所述的输气管(5)通过多个设有高效过滤器(6)的末端与车间(8)相连。

7.根据权利要求1所述的基于太阳电池制造工艺的硅片表面抑制氧化系统，其特征在于：所述的空调系统(4)沿空气输送方向设有加热板(41)、空调风机(42)、制冷板(43)。

8.根据权利要求1所述的基于太阳电池制造工艺的硅片表面抑制氧化系统，其特征在于：所述的烘干进气管(94)沿空气输送方向前端设有干燥层(941)。

9.根据权利要求1所述的基于太阳电池制造工艺的硅片表面抑制氧化系统，其特征在于：所述的初效过滤器(2)采用孔径为5-10μm的滤网；所述的中效过滤器(3)采用孔径为1-5μm的滤网；所述的高效过滤器(6)采用孔径为0.1-0.5μm的滤网。