[实用新型]基于太阳电池制造工艺的硅片表面抑制氧化系统有效

专利信息
申请号: 201921074760.1 申请日: 2019-07-10
公开(公告)号: CN210303181U 公开(公告)日: 2020-04-14
发明(设计)人: 杜俊霖;谢毅;孟凡英;刘正新 申请(专利权)人: 中威新能源(成都)有限公司
主分类号: B01D53/86 分类号: B01D53/86;B01D53/66;F26B21/00;H01L31/18
代理公司: 成都时誉知识产权代理事务所(普通合伙) 51250 代理人: 沈成金
地址: 610000 四川省*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 基于 太阳电池 制造 工艺 硅片 表面 抑制 氧化 系统
【说明书】:

本实用新型公开了基于太阳电池制造工艺的硅片表面抑制氧化系统,包括新风系统、臭氧过滤器;所述新风系统内沿空气输送方向依次设有初效过滤器、空调系统、中效过滤器;所述新风系统一侧设有末端带高效过滤器的输气管;所述高效过滤器下方设有烘干槽的车间;所述烘干槽一侧设有末端连接有烘干风机的烘干排气口,所述烘干风机上方设有末端带烘干高效过滤器的烘干输气管;所述的臭氧过滤器安在中效过滤器与高效过滤器之间、烘干输气管与烘干高效过滤器之间。本实用新型的有益效果是:通过臭氧过滤器,充分保证硅片表面不被臭氧氧化;通过多个输气管末端与车间相连,同时设置臭氧过滤器,提高臭氧去除效率;通过空调系统,实现车间内温度的稳定。

技术领域

本实用新型涉及臭氧防氧化领域,具体是基于太阳电池制造工艺的硅片表面抑制氧化系统。

背景技术

在太阳电池制造过程中,经过制绒清洗后的硅片,在进入下一步化学气相沉积(CVD) 工艺之前,通常是在空气环境中保存,空气中的氧气和臭氧会将硅片表面氧化,形成一层氧化层。车间内臭氧浓度随着大气中臭氧浓度的变化而变化,车间里的各种电器设备也可能产生臭氧,导致车间里的臭氧浓度波动很大。由于臭氧的氧化能力比氧气要强很多,臭氧浓度的波动直接导致硅片表面的氧化程度产生波动,在进行CVD工艺时硅片表面氧化层的厚度和致密度随着臭氧浓度的变化而改变,因此CVD沉积的非晶硅与硅片晶体硅之间的界面状态不能保持稳定,最终电池效率会产生较大波动。

现有的太阳电池生产车间没有对车间环境中臭氧的浓度进行控制,清洗好的硅片在进入 CVD设备之前暴露在空气中,暴露时间的长短和空气中的臭氧浓度变化都会导致硅片的氧化程度不恒定。此外,硅片烘干设备通常使用车间内的空气或者压缩空气,经过加热后热空气在烘干槽内循环,对清洗后的硅片进行干燥,此过程硅片接触到的臭氧浓度的变化也使得硅片的氧化程度发生变化。现有工艺中缺乏对车间和硅片烘干设备内臭氧浓度的控制,增大了电池效率的波动范围,影响产品质量的稳定性。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足,提供基于太阳电池制造工艺的硅片表面抑制氧化系统,用以稳定去除臭氧、控制烘干槽臭氧浓度。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的:基于太阳电池制造工艺的硅片表面抑制氧化系统,包括新风系统、臭氧过滤器;所述新风系统靠近中效过滤器一侧设有输气管;所述输气管末端设有高效过滤器;所述的臭氧过滤器固定在中效过滤器与高效过滤器之间,并紧靠高效过滤器;所述输气管末端通过高效过滤器与车间顶部相通;所述车间两侧设有排气口;所述车间内分别设有化学气相沉积室、制绒清洗设备;所述制绒清洗设备内设有烘干槽;所述烘干槽一侧设有烘干排气口,所述烘干排气口沿空气输送方向末端连接有烘干风机;所述烘干风机上方设有烘干输气管,下方设有烘干进气管;所述烘干输气管末端弯曲设置,并设有烘干高效过滤器;所述烘干输气管末端通过烘干高效过滤器与烘干槽顶部固定连接。

优选的,所述的臭氧过滤器沿空气输送方向还可选用初效过滤器之前、初效过滤器与中效过滤器之间、高效过滤器与车间之间中三个位置中一个及以上,进而可以充分去除所用空气中的臭氧。

优选的,所述的烘干高效过滤器与烘干输气管之间还设有烘干臭氧过滤器,所述烘干臭氧过滤器还可以固定在烘干槽高效过滤器与烘干槽之间,进而保证烘干硅片表面的空气中臭氧含量低。

优选地,所述的新风系统沿输送方向开有若干通风孔,进而提高空气流通速率同时充分让空气与初效过滤器、中效过滤器充分接触,去除空气中杂质。

优选地,所述的输气管通过多个设有高效过滤器的末端同车间相连,进而提高空气中臭氧的去除效率。

优选地,所述的空调系统沿空气输送方向设有加热板、空调风机、制冷板,通过空调风机加速空气流通,加热板或制冷板针对不同需要对空气进行加热或制冷。

优选地,所述的烘干槽进气管沿空气输送方向前端设有干燥层,进而防止烘干槽所用空气中水分对硅片表面氧化抑制的影响。

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