[实用新型]一种半导体设备盖板装置部件洗净超高压保护治具

摘要

一种半导体设备盖板装置部件洗净超高压保护治具，包括正面保护面，所述正面保护面的内部开设有第一通孔，所述正面保护面靠近第一通孔的一侧固定连接有正面密封环，所述第一通孔的直径与正面密封环的内径相同，所述正面保护面的顶部设置有待洗净部件。该半导体设备盖板装置部件洗净超高压保护治具，治具的材质选用优质不锈钢能够达到比耐高温胶带更高的耐热性，因是不锈钢治具，表面不会留下残胶，污垢等副产物，只需经过适当的清洗就可以使表面光亮如新，达到再使用的要求，底部设置有正面保护面，可以在超高压时可防止震动对部品底部的磨损，达到了可重复使用，节省人力及物料成本的目的。