[实用新型]一种可调节石英门有效
| 申请号： | 201921046950.2 | 申请日： | 2019-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN210426106U | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 陈昌中;孙斌;陈程;浦锡伟;徐鑫鑫 | 申请（专利权）人： | 无锡华源晶电科技有限公司 |
| 主分类号： | F27D1/18 | 分类号： | F27D1/18;H01L21/673 |
| 代理公司： | 无锡嘉驰知识产权代理事务所(普通合伙) 32388 | 代理人： | 盛际丰 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市无锡新吴区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种可调节石英门，包括支撑底座，所述支撑底座的一侧设置有固定杆，所述固定杆远离支撑底座的一端设置有活动杆，所述活动杆远离固定杆的一端设置有铝门，所述铝门的表面设置有夹持块，且铝门通过夹持块与活动杆相连接，所述铝门的背面设置有石英门本体，所述支撑底座的顶面活动套，所述活动套的内腔设置有大气缸，所述活动套的内侧壁设置有活动轴，且大气缸通过活动轴与活动套活动连接。本实用新型通过可调节的石英门关闭装置，适用于低压扩散炉的炉门关闭，采用2只气缸控制炉门的空间闭合，三角形式保证强度，以提高成品率，降低使用及维护成本，并减少设备维护工作量，提高了用户企业的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调节 石英 | ||
【主权项】：
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