[实用新型]一种可调节石英门有效
申请号: | 201921046950.2 | 申请日: | 2019-07-06 |
公开(公告)号: | CN210426106U | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 陈昌中;孙斌;陈程;浦锡伟;徐鑫鑫 | 申请(专利权)人: | 无锡华源晶电科技有限公司 |
主分类号: | F27D1/18 | 分类号: | F27D1/18;H01L21/673 |
代理公司: | 无锡嘉驰知识产权代理事务所(普通合伙) 32388 | 代理人: | 盛际丰 |
地址: | 214135 江苏省无锡市无锡新吴区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 调节 石英 | ||
1.一种可调节石英门,包括支撑底座(1),其特征在于,所述支撑底座(1)的一侧设置有固定杆(2),所述固定杆(2)远离支撑底座(1)的一端设置有活动杆(3),所述活动杆(3)远离固定杆(2)的一端设置有铝门(5),所述铝门(5)的表面设置有夹持块(4),且铝门(5)通过夹持块(4)与活动杆(3)相连接,所述铝门(5)的背面设置有石英门本体(6),所述支撑底座(1)的顶面活动套(9),所述活动套(9)的内腔设置有大气缸(10),所述活动套(9)的内侧壁设置有活动轴(11),且大气缸(10)通过活动轴(11)与活动套(9)活动连接,所述大气缸(10)的活动端连接有连杆(12),所述连杆(12)远离大气缸(10)的一端设置有连接块(13),所述活动杆(3)的侧壁设置有固定件(14),且固定件(14)通过连接块(13)与连杆(12)相连接。
2.根据权利要求1所述的一种可调节石英门,其特征在于,所述活动杆(3)靠近固定杆(2)的一端设置有第一转轴(18),且活动杆(3)通过第一转轴(18)与固定杆(2)铰接,所述连接块(13)的表面设置有第二转轴(19),且固定件(14)通过第二转轴(19)与连接块(13)活动连接。
3.根据权利要求1所述的一种可调节石英门,其特征在于,所述活动杆(3)的内腔设置有弹性夹(8),所述弹性夹(8)靠近固定杆(2)的一端设置有调节旋转块(7),且弹性夹(8)远离调节旋转块(7)的一端与夹持块(4)相连接。
4.根据权利要求1所述的一种可调节石英门,其特征在于,所述固定杆(2)的顶端设置有限位凸块(15),所述限位凸块(15)的顶端设置有缓冲垫(16),且限位凸块(15)通过缓冲垫(16)与活动杆(3)相连接。
5.根据权利要求1所述的一种可调节石英门,其特征在于,所述支撑底座(1)的顶端且固定杆(2)的底端设置有小气缸(17),且小气缸(17)的活动端与固定杆(2)的底面相连接。
6.根据权利要求5所述的一种可调节石英门,其特征在于,所述支撑底座(1)的顶端且小气缸(17)的两侧设置有支撑杆(20),所述支撑杆(20)的表面设置有滑杆(21),所述固定杆(2)远离活动杆(3)的一端设置有移动滑块(22),且移动滑块(22)套接于滑杆(21)的表面,且固定杆(2)通过移动滑块(22)与滑杆(21)活动连接。
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