[实用新型]一种可调节石英门有效
| 申请号: | 201921046950.2 | 申请日: | 2019-07-06 |
| 公开(公告)号: | CN210426106U | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
| 发明(设计)人: | 陈昌中;孙斌;陈程;浦锡伟;徐鑫鑫 | 申请(专利权)人: | 无锡华源晶电科技有限公司 |
| 主分类号: | F27D1/18 | 分类号: | F27D1/18;H01L21/673 |
| 代理公司: | 无锡嘉驰知识产权代理事务所(普通合伙) 32388 | 代理人: | 盛际丰 |
| 地址: | 214135 江苏省无锡市无锡新吴区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 调节 石英 | ||
本实用新型提供了一种可调节石英门,包括支撑底座,所述支撑底座的一侧设置有固定杆,所述固定杆远离支撑底座的一端设置有活动杆,所述活动杆远离固定杆的一端设置有铝门,所述铝门的表面设置有夹持块,且铝门通过夹持块与活动杆相连接,所述铝门的背面设置有石英门本体,所述支撑底座的顶面活动套,所述活动套的内腔设置有大气缸,所述活动套的内侧壁设置有活动轴,且大气缸通过活动轴与活动套活动连接。本实用新型通过可调节的石英门关闭装置,适用于低压扩散炉的炉门关闭,采用2只气缸控制炉门的空间闭合,三角形式保证强度,以提高成品率,降低使用及维护成本,并减少设备维护工作量,提高了用户企业的生产效率。
技术领域
本实用新型石英门技术领域,具体是一种可调节石英门。
背景技术
太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换,而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备,管式扩散炉主要由石英舟的上下载部分、废气室、炉体部分和气柜部分等四大部分组成,扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源,把P型硅片放在管式扩散炉的石英容器内,在850---900摄氏度高温下使用氮气将三氯氧磷带入石英容器,通过三氯氧磷和硅片进行反应,得到磷原子,经过一定时间,磷原子从四周进入硅片的表面层,并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散,形成了N型半导体和P型半导体的交界面,也就是PN结,这种方法制出的PN结均匀性好,方块电阻的不均匀性小于百分之十,少子寿命可大于10ms,制造PN结是太阳电池生产最基本也是最关键的工序,因为正是PN结的形成,才使电子和空穴在流动后不再回到原处,这样就形成了电流,用导线将电流引出,就是直流电。
此工艺在整个电池片制造工艺过程中起着至关重要的作用,而且石英管成本高昂,损坏及停工的成本较高,太阳能电池片的迅猛发展,使得设备产能的需求不断提高,而石英门损坏率却未得到有效下降,因石英玻璃材质本身特性硬而脆,相对加工手段少,使石英管制作困难,成本高昂,损坏对生产的成本影响较大。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种可调节石英门,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种可调节石英门,包括支撑底座,所述支撑底座的一侧设置有固定杆,所述固定杆远离支撑底座的一端设置有活动杆,所述活动杆远离固定杆的一端设置有铝门,所述铝门的表面设置有夹持块,且铝门通过夹持块与活动杆相连接,所述铝门的背面设置有石英门本体,所述支撑底座的顶面活动套,所述活动套的内腔设置有大气缸,所述活动套的内侧壁设置有活动轴,且大气缸通过活动轴与活动套活动连接,所述大气缸的活动端连接有连杆,所述连杆远离大气缸的一端设置有连接块,所述活动杆的侧壁设置有固定件,且固定件通过连接块与连杆相连接。
作为本实用新型进一步的方案:所述活动杆靠近固定杆的一端设置有第一转轴,且活动杆通过第一转轴与固定杆铰接,所述连接块的表面设置有第二转轴,且固定件通过第二转轴与连接块活动连接。
作为本实用新型进一步的方案:所述活动杆的内腔设置有弹性夹,所述弹性夹靠近固定杆的一端设置有调节旋转块,且弹性夹远离调节旋转块的一端与夹持块相连接。
作为本实用新型进一步的方案:所述固定杆的顶端设置有限位凸块,所述限位凸块的顶端设置有缓冲垫,且限位凸块通过缓冲垫与活动杆相连接。
作为本实用新型进一步的方案:所述支撑底座的顶端且固定杆的底端设置有小气缸,且小气缸的活动端与固定杆的底面相连接。
作为本实用新型再进一步的方案:所述支撑底座的顶端且小气缸的两侧设置有支撑杆,所述支撑杆的表面设置有滑杆,所述固定杆远离活动杆的一端设置有移动滑块,且移动滑块套接于滑杆的表面,且固定杆通过移动滑块与滑杆活动连接。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
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