[实用新型]用于真空镀膜的公自转式镀膜设备有效
| 申请号： | 201921039106.7 | 申请日： | 2019-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN210215535U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 王越民;王焘骏 | 申请（专利权）人： | 佛山王氏航空光学科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙) 11368 | 代理人： | 郭官厚 |
| 地址： | 528225 广东省佛山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 用于真空镀膜的公自转式镀膜设备，炉体内设有镀膜炉腔，镀膜炉腔的内部设置有公转盘转动机构和自转齿轮机构，内壁一侧连接有靶材，本实用新型的公转盘转动机构通过采用行星齿轮机构驱动挂架托盘实现AR固定架组件公转，而自转齿轮机构通过曲柄摇杆机构使齿条与自转齿轮相啮合，实现自转下轴旋转带动挂具180度翻身进行反面镀膜，并通过自转定位器使挂具达到准确翻身的目的；由于曲柄摇杆机构由旋转缸控制，能够使其选择性均匀地镀膜，实现在同一炉批次内自动翻面，避免开门翻身再抽真空升温需要消耗的时间和电能，有效节省时间和电能，并提高了双面镀膜效率，有效保障了双面镀膜的均匀性和一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空镀膜 自转 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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