[实用新型]一种半导体测试设备有效
| 申请号： | 201921034479.5 | 申请日： | 2019-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN210893922U | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 吴欢欢 | 申请（专利权）人： | 苏州通富超威半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01N3/08 | 分类号： | G01N3/08;G01N3/06;G01M13/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 成丹 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种半导体测试设备，包括测试箱和电控箱，所述测试箱包括测试机构、安全机构、温控机构以及与所述测试机构、所述安全机构、所述温控机构电连接的显控机构；所述测试机构包括电机扭力控制单元以及活动连接于所述电机扭力控制单元的检测单元，所述电机扭力控制单元用于以预设测试压力控制所述检测单元沿远离所述电机扭力控制单元方向运动至被测工件表面；所述温控机构电连接于所述电机扭力控制单元，所述温控机构用于以预设测试温度控制所述被测工件表面温度。相比现有技术，本申请中的测试机构可使得测试压力稳定且方便调整，设置安全机构可保障测试过程中的安全性，搭载温控机构可模拟高低温环境测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 测试 设备 | ||
【主权项】：
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