[实用新型]一种半导体测试设备

权利要求书

1.一种半导体测试设备，包括测试箱和电控箱，其特征在于，

所述测试箱包括测试机构、安全机构、温控机构以及与所述测试机构、所述安全机构、所述温控机构电连接的显控机构；

所述测试机构包括电机扭力控制单元以及活动连接于所述电机扭力控制单元的检测单元，所述电机扭力控制单元用于以预设测试压力控制所述检测单元沿远离所述电机扭力控制单元方向运动至被测工件表面；

所述温控机构电连接于所述电机扭力控制单元，所述温控机构用于以预设测试温度控制所述被测工件表面温度。

2.根据权利要求1所述的半导体测试设备，其特征在于，

所述电机扭力控制单元包括伺服电机和丝杆，所述伺服电机通过同步带和同步轮带动所述丝杆沿所述丝杆周向旋转。

3.根据权利要求2所述的半导体测试设备，其特征在于，

所述检测单元为螺纹连接于所述丝杆的测试杆，所述测试杆可随所述丝杆周向旋转而沿所述测试杆轴向做直线运动。

4.根据权利要求3所述的半导体测试设备，其特征在于，

所述测试机构还包括第一连接板、第二连接板、基座和两个支撑杆，所述第一连接板和所述第二连接板相互平行，所述两个支撑杆分别位于所述丝杆两侧且与所述丝杆平行，

所述两个支撑杆依次穿过所述第一连接板、所述基座且一端固定连接于所述第一连接板，另一端固定连接于所述第二连接板，

所述丝杆依次穿过所述第一连接板、所述基座和所述第二连接板且一端固定连接于所述第一连接板。

5.根据权利要求4所述的半导体测试设备，其特征在于，

所述测试机构还包括第一立柱和第二立柱，所述第一立柱垂直连接于相互平行的所述第一连接板和所述第二连接板的一侧端部，所述第二立柱垂直连接于相互平行的所述第一连接板和所述第二连接板的另一侧端部。

6.根据权利要求1所述的半导体测试设备，其特征在于，

所述测试机构还包括槽形光电传感器。

7.根据权利要求5所述的半导体测试设备，其特征在于，

所述测试杆正下方设置有固定底座，所述被测工件固定连接于PCB板，所述PCB板固定连接于所述固定底座。

8.根据权利要求7所述的半导体测试设备，其特征在于，

所述第一立柱和所述第二立柱均垂直连接于所述固定底座，所述固定底座固定连接于所述电控箱。

9.根据权利要求1所述的半导体测试设备，其特征在于，所述安全机构包括双键启动、光电安全保护装置、复位键、急停键和报警器。

10.根据权利要求9所述的半导体测试设备，其特征在于，

所述测试箱一侧设有开口，所述开口用于所述被测工件进出所述测试箱，所述光电安全保护装置位于所述开口两侧。