[实用新型]一种激光微细加工设备

摘要

本实用新型提供一种激光微细加工设备，所述一种激光微细加工设备包括设置的激光光源部件、扫描部件、光束整形部件、光束测定部件、光束控制部件、加工平台部件、照明光源部件和监测部件。所述激光光源部件，用以发射多个激光，且多个激光的波长互不相同；所述光束整形部件用以将激光能量均匀分布于光斑范围内；所述光束测定部件用以测定激光整形光束的输出能量；光束控制部件用以调控激光光束的输出能量，使其稳定输出；所述照明光源部件用以照明样品，样品信息沿原路返回；所述监测部件用以实时监测和采集样品信息，提高加工效率。其结构简单，可对多波长激光进行衰减和选择，保留所需要的波长激光，实现多波长激光微细加工，提高修复效率。