[实用新型]一种激光微细加工设备

权利要求书

1.一种激光微细加工设备，其特征在于包括设置的激光光源部件(10）、扫描部件(20）、光束整形部件(30）、光束测定部件(40)、光束控制部件(50)、加工平台部件(60)、照明光源部件(70)和监测部件(80)，所述激光光源部件(10）、扫描部件(20）、光束整形部件(30）、光束测定部件(40)、照明光源部件(70)和加工平台部件(60)依次顺序设置，且所述激光光源部件(10）和光束测定部件(40)分别与所述光束控制部件(50)电连接，所述监测部件(80)和照明光源部件(70)电连接。

2.根据权利要求1所述的一种激光微细加工设备，其特征在于：激光光源部件(10)由一个或多个激光器构成，每个激光器分别发射一束波长单一的激光束（11），多个激光束的波长互不相同。

3.根据权利要求1所述的一种激光微细加工设备，其特征在于：激光光源部件(10)包括依次顺序设置的分束器、衰减器、合束器对特定波长激光进行调控。

4.根据权利要求3所述的一种激光微细加工设备，其特征在于：分束器能够在激光光路中将激光按不同波长分束，从而可以分别控制，常用的分束器件包括但不限于分束镜、二向色镜。

5.根据权利要求3所述的一种激光微细加工设备，其特征在于：衰减器在光路中可对各个波长进行一定比例的衰减或完全阻挡，但不限于衰减器、中性滤波片、偏振片。

6.根据权利要求3所述的一种激光微细加工设备，其特征在于：合束器将衰减后的不同波长激光合束至同一光路中，包括但不仅限于合束镜或二向色镜。

7.根据权利要求1所述的一种激光微细加工设备，其特征在于：所述的扫描部件位于激光光源部件和光束整形部件之间，通过预设路径及图案进行微细加工。

8.根据权利要求1所述的一种激光微细加工设备，其特征在于：所述的光束整形部件位于扫描部件之后，将激光能量均匀分布于光斑范围内。

9.根据权利要求1所述的一种激光微细加工设备，其特征在于：所述的光束测定部件位于光束整形部件与控制部件之间，将激光能量分出1%~2%，用于测定激光整形后生成激光光束的输出能量。

10.根据权利要求1所述的一种激光微细加工设备，其特征在于：所述的光束控制部件位于光束测定部件与激光光源部件之间，接收激光测定部件的激光光束的输出信号，可对信息进行分析运算，将信号传送到激光光源部件，从而调整在激光光源部件生成的激光光束的输出能量，使其稳定输出。

11.根据权利要求1所述的一种激光微细加工设备，其特征在于：所述的照明光源部件位于样品台上方，对加工样品进行照明，样品信息沿原路返回。

12.根据权利要求1所述的一种激光微细加工设备，其特征在于：所述的监测部件位于照明光源部件上方，从而可对样品信息进行实时监测和采集，提高加工效率。