[实用新型]一种带有收料装置的边缘刻蚀机有效
| 申请号： | 201921024421.2 | 申请日： | 2019-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN210325705U | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 马胜南 | 申请（专利权）人： | 南轩（天津）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300000 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带有收料装置的边缘刻蚀机，包括柜体、控制器、酸洗槽、磁力泵和连接块，所述柜体内部的底端安装有酸液回收储液箱，酸液回收箱的两端皆安装有磁力泵，且磁力泵的输出端安装有第二连接管第二连接管，所述柜体柜体内部的顶端安装有滑轨，且滑轨的顶端等间距安装有快速风干风机，本实用新型通过在所述柜体内部的底端安装有酸液回收箱，酸液回收箱内部的中间位置安装有残渣过滤板，酸液回收箱内部的两端皆安装有磁力泵，且磁力泵的输出端安装有第二连接管第二连接管，实现了装置具有废料收集的优点，将酸液进行过滤，经过过滤处理继续使用，增强酸液的使用率，防止其他渣滓污染环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 装置 边缘 刻蚀 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
