[实用新型]一种带有收料装置的边缘刻蚀机

说明书

本实用新型公开了一种带有收料装置的边缘刻蚀机，包括柜体、控制器、酸洗槽、磁力泵和连接块，所述柜体内部的底端安装有酸液回收储液箱，酸液回收箱的两端皆安装有磁力泵，且磁力泵的输出端安装有第二连接管第二连接管，所述柜体柜体内部的顶端安装有滑轨，且滑轨的顶端等间距安装有快速风干风机，本实用新型通过在所述柜体内部的底端安装有酸液回收箱，酸液回收箱内部的中间位置安装有残渣过滤板，酸液回收箱内部的两端皆安装有磁力泵，且磁力泵的输出端安装有第二连接管第二连接管，实现了装置具有废料收集的优点，将酸液进行过滤，经过过滤处理继续使用，增强酸液的使用率，防止其他渣滓污染环境。

技术领域

本实用新型涉及边缘刻蚀机技术领域，具体为一种带有收料装置的边缘刻蚀机。

背景技术

边缘刻蚀机是将半导体硅片外延片边缘作刻蚀处理的机器，采用最新清洗工艺技术，广泛应用世界名牌原器件，具有技术先进，结构合理，运行可靠，操作方便等特点。

现有边缘刻蚀机，散热效率较低，装置使用寿命较短，边缘刻蚀完成后，不能对使用过后的酸性物质进行回收过滤使用，会造成资源的浪费和环境的污染，在进行边缘刻蚀时，较死板，酸性腐蚀物质易腐蚀到装置不需要刻蚀的一侧，同时功能较单一。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种带有收料装置的边缘刻蚀机，以解决上述背景技术中提出的现有边缘刻蚀机，刻蚀效率较低，装置使用寿命较短，边缘刻蚀完成后，不能对使用过后的酸性物质进行回收过滤使用，会造成资源的浪费和环境的污染，在进行边缘刻蚀时，较死板，酸性腐蚀物质易腐蚀到装置不需要刻蚀的一侧，同时功能较单一等问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种带有收料装置的边缘刻蚀机，包括柜体、控制器、酸洗槽、磁力泵和连接块，所述柜体内部的底端安装有酸液回收箱，酸液回收箱内部的中间位置安装有残渣过滤板，酸液回收箱内部的两端皆安装有磁力泵，且磁力泵的输出端安装有第二连接管第二连接管，所述柜体柜体内部的顶端安装有滑轨，且滑轨的顶端等间距安装有快速风干风机，所述滑轨的一侧安装有连接块，连接块的两端安装有安装扣，且安装扣的底端安装有静电消除器，所述滑轨的一侧安装有连接杆，且连接杆的顶端安装有旋转轴，所述连接杆内部的底端安装有电动推杆，连接杆的底端安装机械抓手，且机械抓手与连接杆相互配合构成抓取结构，所述机械抓手(15)内侧的底端安装有抗腐蚀吸盘(23)，且抗腐蚀吸盘(23) 内部的顶端安装有抗腐蚀安装外壳(22)，所述柜体外部一侧的顶端安装有控制器，且控制器通过导线与快速风干风机、磁力泵、电动推杆、机械抓手和静电消除器电连接。

优选的，所述柜体底部的两端皆安装有底座，柜体和底座相互配合构成稳固结构。

优选的，所述柜体内部的顶端安装有散热翅片，且散热翅片与快速风干风机相互配合构成散热结构。

优选的，所述酸液回收箱的顶部等间距安装有静电消除器，且静电消除器一侧的底端皆安装有第一连接管。

优选的，所述连接杆一侧的底端安装有连接轴，且连接轴远离连接杆的一端与机械抓手连接。

优选的，所述酸液回收箱顶部的一端设置有出料放置台，且出料放置台与柜体相互配合构成出料结构。