[实用新型]一种带有收料装置的边缘刻蚀机有效

专利信息
申请号: 201921024421.2 申请日: 2019-07-03
公开(公告)号: CN210325705U 公开(公告)日: 2020-04-14
发明(设计)人: 马胜南 申请(专利权)人: 南轩(天津)科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 300000 天津市*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 带有 装置 边缘 刻蚀
【权利要求书】:

1.一种带有收料装置的边缘刻蚀机,包括柜体(1)、控制器(4)、酸洗槽(9)、磁力泵(12)和连接块(18),其特征在于:所述柜体(1)内部的底端安装有酸液回收箱(13),酸液回收箱(13)内部的中间位置安装有残渣过滤板(10),酸液回收箱(13)内部的两端皆安装有磁力泵(12),且磁力泵(12)的输出端安装有第二连接管(11),所述柜体柜体(1)内部的顶端安装有滑轨(20),且滑轨(20)的顶端等间距安装有快速风干风机(3),所述滑轨(20)的一侧安装有连接块(18),连接块(18)的两端安装有安装扣(17),且安装扣(17)的底端安装有静电消除器(19),所述滑轨(20)的一侧安装有连接杆(16),且连接杆(16)的顶端安装有旋转轴(21),所述连接杆(16)内部的底端安装有电动推杆(7),连接杆(16)的底端安装机械抓手(15),且机械抓手(15)与连接杆(16)相互配合构成抓取结构,所述机械抓手(15)内侧的底端安装有抗腐蚀吸盘(23),且抗腐蚀吸盘(23)内部的顶端安装有抗腐蚀安装外壳(22),所述柜体(1)外部一侧的顶端安装有控制器(4),且控制器(4)通过导线与快速风干风机(3)、磁力泵(12)、电动推杆(7)、机械抓手(15)和静电消除器(19)电连接。

2.根据权利要求1所述的一种带有收料装置的边缘刻蚀机,其特征在于:所述柜体(1)底部的两端皆安装有底座(6),柜体(1)和底座(6)相互配合构成稳固结构。

3.根据权利要求1所述的一种带有收料装置的边缘刻蚀机,其特征在于:所述柜体(1)内部的顶端安装有散热翅片(2),且散热翅片(2)与快速风干风机(3)相互配合构成散热结构。

4.根据权利要求1所述的一种带有收料装置的边缘刻蚀机,其特征在于:所述酸液回收箱(13)的顶部等间距安装有静电消除器(19),且静电消除器(19)一侧的底端安装有第一连接管(8)。

5.根据权利要求1所述的一种带有收料装置的边缘刻蚀机,其特征在于:所述连接杆(16)一侧的底端安装有连接轴(14),且连接轴(14)远离连接杆(16)的一端与机械抓手(15)连接。

6.根据权利要求1所述的一种带有收料装置的边缘刻蚀机,其特征在于:所述酸液回收箱(13)顶部的一端设置有出料放置台(5),且出料放置台(5)与柜体(1)相互配合构成出料结构。

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