[实用新型]一种带有收料装置的边缘刻蚀机有效
申请号: | 201921024421.2 | 申请日: | 2019-07-03 |
公开(公告)号: | CN210325705U | 公开(公告)日: | 2020-04-14 |
发明(设计)人: | 马胜南 | 申请(专利权)人: | 南轩(天津)科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300000 天津市*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 带有 装置 边缘 刻蚀 | ||
1.一种带有收料装置的边缘刻蚀机,包括柜体(1)、控制器(4)、酸洗槽(9)、磁力泵(12)和连接块(18),其特征在于:所述柜体(1)内部的底端安装有酸液回收箱(13),酸液回收箱(13)内部的中间位置安装有残渣过滤板(10),酸液回收箱(13)内部的两端皆安装有磁力泵(12),且磁力泵(12)的输出端安装有第二连接管(11),所述柜体柜体(1)内部的顶端安装有滑轨(20),且滑轨(20)的顶端等间距安装有快速风干风机(3),所述滑轨(20)的一侧安装有连接块(18),连接块(18)的两端安装有安装扣(17),且安装扣(17)的底端安装有静电消除器(19),所述滑轨(20)的一侧安装有连接杆(16),且连接杆(16)的顶端安装有旋转轴(21),所述连接杆(16)内部的底端安装有电动推杆(7),连接杆(16)的底端安装机械抓手(15),且机械抓手(15)与连接杆(16)相互配合构成抓取结构,所述机械抓手(15)内侧的底端安装有抗腐蚀吸盘(23),且抗腐蚀吸盘(23)内部的顶端安装有抗腐蚀安装外壳(22),所述柜体(1)外部一侧的顶端安装有控制器(4),且控制器(4)通过导线与快速风干风机(3)、磁力泵(12)、电动推杆(7)、机械抓手(15)和静电消除器(19)电连接。
2.根据权利要求1所述的一种带有收料装置的边缘刻蚀机,其特征在于:所述柜体(1)底部的两端皆安装有底座(6),柜体(1)和底座(6)相互配合构成稳固结构。
3.根据权利要求1所述的一种带有收料装置的边缘刻蚀机,其特征在于:所述柜体(1)内部的顶端安装有散热翅片(2),且散热翅片(2)与快速风干风机(3)相互配合构成散热结构。
4.根据权利要求1所述的一种带有收料装置的边缘刻蚀机,其特征在于:所述酸液回收箱(13)的顶部等间距安装有静电消除器(19),且静电消除器(19)一侧的底端安装有第一连接管(8)。
5.根据权利要求1所述的一种带有收料装置的边缘刻蚀机,其特征在于:所述连接杆(16)一侧的底端安装有连接轴(14),且连接轴(14)远离连接杆(16)的一端与机械抓手(15)连接。
6.根据权利要求1所述的一种带有收料装置的边缘刻蚀机,其特征在于:所述酸液回收箱(13)顶部的一端设置有出料放置台(5),且出料放置台(5)与柜体(1)相互配合构成出料结构。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造