[实用新型]一种砷化镓多晶合成用舟状坩埚有效
申请号: | 201921013413.8 | 申请日: | 2019-06-29 |
公开(公告)号: | CN210420256U | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 罗小龙;周铁军;王金灵;刘留;刘火阳 | 申请(专利权)人: | 广东先导先进材料股份有限公司 |
主分类号: | C30B29/42 | 分类号: | C30B29/42;C30B28/04 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李宁 |
地址: | 511517 广东省清*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种砷化镓多晶合成用舟状坩埚,包括坩埚主体,坩埚主体的内腔中设置有挡板,挡板将内腔分隔为较大的主体腔以及较小的富镓腔,挡板的顶端与坩埚主体的开口端齐平,挡板的底端与坩埚主体的底部之间形成有连通主体腔与富镓腔的间隙,在应用时,砷化镓从主体腔远离富镓腔的一端按照由远及近、由上到下的方向逐渐冷却结晶,对流动的镓产生推动作用,促使其从间隙进入富镓腔中,当结晶完成后,挡板直接将富镓段与砷化镓间隔分开,在取出时就可使富镓段直接从砷化镓结晶上断开,避免二次切割加工,从而达到减少加工损耗,提高效率,降低人工成本的目的,同时富镓段未受到任何加工污染,还可以继续回炉使用,减少了浪费。 | ||
搜索关键词: | 一种 砷化镓 多晶 合成 用舟状 坩埚 | ||
【主权项】:
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