[实用新型]一种砷化镓多晶合成用舟状坩埚

权利要求书

1.一种砷化镓多晶合成用舟状坩埚，其特征在于，包括坩埚主体，所述坩埚主体的内腔中设置有挡板，所述挡板将所述内腔分隔为较大的主体腔以及较小的富镓腔，所述挡板的顶端与所述坩埚主体的开口端齐平，所述挡板的底端与所述坩埚主体的底部之间形成有间隙，所述主体腔与所述富镓腔通过所述间隙连通。

2.根据权利要求1所述的砷化镓多晶合成用舟状坩埚，其特征在于，所述坩埚主体的内腔从底部到开口端尺寸渐扩。

3.根据权利要求2所述的砷化镓多晶合成用舟状坩埚，其特征在于，所述坩埚主体的内腔的表面为圆滑过渡的曲面。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的砷化镓多晶合成用舟状坩埚，其特征在于，所述坩埚主体包括横截面为弧形的主体段以及设置于所述主体段两端的四分之一球形段。

5.根据权利要求4所述的砷化镓多晶合成用舟状坩埚，其特征在于，所述挡板设置于所述主体段靠近两个所述四分之一球形段中的一端的端部。

6.根据权利要求1-3及5任意一项所述的砷化镓多晶合成用舟状坩埚，其特征在于，所述挡板垂直于所述坩埚主体的长度方向。