[实用新型]一种化学气相沉积反应器

摘要

本实用新型属于无机非金属材料制备技术领域，尤其为一种化学气相沉积反应器，包括装置本体，装置本体的内部设置有滑移底板，滑移底板的上表面固定设置有反应槽，反应槽上设置有若干组夹持机构，装置本体的两端内壁均焊接固定有滑轨，滑轨与滑移底板之间设置有滚动轮，滑移底板通过滑轨与装置本体连接，滑移底板一侧的远离反应槽的一端设置有密封门，本实用新型能够通过两个夹持块的配合对装置本体内的衬底工件进行夹持悬空放置，便于工件底面能偶更好的附着薄膜，并能够在底面反应附着完成后通过拉动第二把手，使夹持块松开，便于工件的侧面继续反应，这样能够使工件的附膜效果均匀，没有死角。