[实用新型]一种化学气相沉积反应器

权利要求书

1.一种化学气相沉积反应器，包括装置本体(1)，其特征在于：装置本体(1)的内部设置有滑移底板(3)，滑移底板(3)的上表面固定设置有反应槽(31)，反应槽(31)上设置有若干组夹持机构，装置本体(1)的两端内壁均焊接固定有滑轨(2)，滑轨(2)与滑移底板(3)之间设置有滚动轮(21)，滑移底板(3)通过滑轨(2)与装置本体(1)连接，滑移底板(3)一侧的远离反应槽(31)的一端设置有密封门(33)，密封门(33)的下方设置有第一把手(34)，反应槽(31)远离密封门(33)的一侧上方固定焊接有固定块(32)，固定块(32)上滑动设置有红外线加热器(4)，装置本体(1)与密封门(33)同侧的下方固定焊接有延伸板(11)，延伸板(11)的上表面固定设置有储气瓶(62)，反应槽(31)的内部环绕设置有送气钢管(6)，送气钢管(6)的一端贯穿反应槽(31)和装置本体(1)，通过送气软管(61)与储气瓶(62)连通。

2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积反应器，其特征在于：夹持机构包括夹持块(5)、第一拉杆(51)、压力弹簧(53)和第二拉杆(54)，两个夹持块(5)组成一对卡合夹，两个夹持块(5)靠近固定块(32)槽壁的一侧分别通过第一拉杆(51)和第二拉杆(54)与固定块(32)连接，第一拉杆(51)和第二拉杆(54)处于夹持块(5)与固定块(32)之间的部分套均接有压力弹簧(53)，第一拉杆(51)远离夹持块(5)的一端贯穿密封门(33)连接有第二把手(52)。

3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积反应器，其特征在于：反应槽(31)的底部对应夹持块(5)的下方设置有载物平台(7)。

4.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积反应器，其特征在于：夹持块(5)的两侧均设置有连接杆(8)，两个连接杆(8)一端均与第一拉杆(51)连接，两个连接杆(8)另一端均通过撬臂(82)与第二拉杆(54)连接，撬臂(82)的中间位置处设置有支撑杆(81)支撑杆(81)的一端与撬臂(82)转动连接，支撑杆(81)的另一端与固定块(32)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积反应器，其特征在于：送气钢管(6)上对应卡合夹的位置均设置有喷气嘴(63)。

6.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积反应器，其特征在于：密封门(33)的外表面四角位置处均转动设置有卡合勾，装置本体(1)上对应卡合勾的一侧均设置有卡合杆，密封门(33)通过卡合勾与卡合杆与装置本体(1)卡合固定。

7.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积反应器，其特征在于：红外线加热器(4)的一端连接有电线，红外线加热器(4)通过电线连接有开关(41)。