[实用新型]一种扩散炉设备保护隔板有效
| 申请号： | 201920981393.7 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN209708958U | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 张欢;徐硕;苏世杰;陈绍光;蔡芬 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能(合肥)有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/22 |
| 代理公司： | 53113 昆明合众智信知识产权事务所 | 代理人： | 叶春娜<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 230088 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种扩散炉设备保护隔板，所述碳化硅桨下方设置有隔板，所述隔板固定连接于炉侧壁上，且隔板远离炉侧壁一侧固定连接有侧挡板，所述隔板下方固定连接有支撑杆，所述支撑杆与固定杆固定连接，所述固定杆与炉侧壁固定连接，所述隔板靠近碳化硅桨一侧开设有凹槽，所述凹槽中依次活动设置有上层板和下层板。本实用新型解决了现有扩散炉设备中石英舟倾倒摔舟、上方石英舟中的硅片碎片容易掉落至下方石英舟上，导致下方石英舟中硅片被批量砸碎、浆断裂掉到下方砸碎下方浆及石英舟和硅片，从而影响产线产能和财产损失导致车间成本的问题，有效的避免影响车间产能和财产损失导致的成本上升。 | ||
| 搜索关键词： | 隔板 石英舟 炉侧壁 本实用新型 财产损失 碳化硅桨 固定杆 扩散炉 支撑杆 硅片 产能 车间成本 硅片碎片 活动设置 设备保护 侧挡板 上层板 下层板 掉落 产线 断裂 倾倒 车间 | ||
【主权项】：
1.一种扩散炉设备保护隔板，包括炉口壁(1)和炉侧壁(2)，所述炉口壁(1)上开设有炉门(3)，所述炉侧壁(2)上开设有底座滑道(4)，所述底座滑道(4)中移动设置有桨水平电机(5)，所述桨水平电机(5)固定连接有桨底座(6)，所述桨底座(6)靠近炉门(3)一侧固定夹持有碳化硅桨(7)，所述碳化硅桨(7)远离桨底座(6)一端连接有石英舟(8)，所述石英舟(8)上设置有硅片(9)，其特征在于：所述碳化硅桨(7)下方设置有隔板(10)，所述隔板(10)固定连接于炉侧壁(2)上，且隔板(10)远离炉侧壁(2)一侧固定连接有侧挡板(11)。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
