[实用新型]一种扩散炉设备保护隔板有效
| 申请号： | 201920981393.7 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN209708958U | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 张欢;徐硕;苏世杰;陈绍光;蔡芬 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能(合肥)有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/22 |
| 代理公司： | 53113 昆明合众智信知识产权事务所 | 代理人： | 叶春娜<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 230088 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 隔板 石英舟 炉侧壁 本实用新型 财产损失 碳化硅桨 固定杆 扩散炉 支撑杆 硅片 产能 车间成本 硅片碎片 活动设置 设备保护 侧挡板 上层板 下层板 掉落 产线 断裂 倾倒 车间 | ||
1.一种扩散炉设备保护隔板，包括炉口壁(1)和炉侧壁(2)，所述炉口壁(1)上开设有炉门(3)，所述炉侧壁(2)上开设有底座滑道(4)，所述底座滑道(4)中移动设置有桨水平电机(5)，所述桨水平电机(5)固定连接有桨底座(6)，所述桨底座(6)靠近炉门(3)一侧固定夹持有碳化硅桨(7)，所述碳化硅桨(7)远离桨底座(6)一端连接有石英舟(8)，所述石英舟(8)上设置有硅片(9)，其特征在于：所述碳化硅桨(7)下方设置有隔板(10)，所述隔板(10)固定连接于炉侧壁(2)上，且隔板(10)远离炉侧壁(2)一侧固定连接有侧挡板(11)。
2.根据权利要求1所述的一种扩散炉设备保护隔板，其特征在于：所述隔板(10)下方固定连接有支撑杆(12)，所述支撑杆(12)与固定杆(13)固定连接，所述固定杆(13)与炉侧壁(2)固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种扩散炉设备保护隔板，其特征在于：所述支撑杆(12)与隔板(10)通过紧固螺钉(14)连接，所述炉侧壁(2)与固定杆(13)通过紧固螺钉连接。
4.根据权利要求1所述的一种扩散炉设备保护隔板，其特征在于：所述隔板(10)靠近碳化硅桨(7)一侧开设有凹槽(15)，所述凹槽(15)中依次活动设置有上层板(16)和下层板(18)，所述上层板(16)中开设有上板通孔(17)，所述下层板(18)中开设有下板通孔(19)，所述上板通孔(17)和下板通孔(19)呈相互交错设置，且所述凹槽(15)内侧壁在靠近侧挡板(11)一端贯通开设有散热孔(25)。
5.根据权利要求4所述的一种扩散炉设备保护隔板，其特征在于：所述凹槽(15)内侧壁开设有侧壁槽(20)，所述侧壁槽(20)中依次活动设置有上压板(21)和下压板(22)，所述上压板(21)与上层板(16)固定连接，所述下压板(22)与下层板(18)固定连接，所述上压板(21)和下压板(22)之间通过缓冲弹簧(23)连接，所述下压板(22)通过固定弹簧(24)连接于侧壁槽(20)底壁上。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
